目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>>等離子清洗機>> CPC-12CIF中試型等離子清洗機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車,電氣,綜合 |
|---|
廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的CIF中試型等離子清洗機CPC-12，是桌面型、可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件的等離子體清洗設(shè)備。具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能，具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。
特點：
PLC工控機控制整個清洗過程，全自動進行。
7寸彩色觸摸屏互動操作界面，實時工作參數(shù)狀態(tài)直觀顯示。
手動、自動兩種工作模式。
數(shù)字流量計控制，控制更準確。
符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計，操作方便，界面友好。
頂置真空倉，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式。
上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。
有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。
可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進行清洗和改性。
安全保護，倉門打開，自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | CPC-12 | CPC-12plus |
艙體尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
艙體容積 | 12.8L | 12.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-300W可調(diào) |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計（MFC）（標配單路，可選雙路） | |
最大處理尺寸 | Φ370mm圓盤 | |
產(chǎn)品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包裝尺寸 | L750xW640xH570mm | |
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
CIF中試型等離子清洗機CPC-12信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供。
2
化工儀器網(wǎng)