德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto
Diener電鏡專用等離子清洗機
用途:
主要用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染,防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可以利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射掃描電鏡和場發(fā)射透射電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面,不會改變樣品元素成份和表面結構特征。
主要技術參數(shù):
1. 可對多孔碳膜進行高效且無破壞的清洗,提高樣品在低電壓下的成像能力,在化學微量分析時提高其精度
2. 無油真空系統(tǒng):泵體部分由多級隔膜泵和超凈音分子泵組成,在保證真空度的同時,可在兩分鐘之內達到抽真空和放氣過程,整個清洗過程在4分鐘內可以完成
3. 可清洗標準透射電鏡樣品桿
4. 可清洗多孔碳膜
5. 清洗時間:普通污染樣品小于2分鐘,重度污染樣品小于10分鐘
6. 重現(xiàn)性:可以自動記錄下同類產品清洗的條件,下次清同類產品時可以樣條件進行
技術規(guī)格:
控制方式 | 手動控制 |
發(fā)生器 | 40KHz,0~100W |
腔體材質 | 高硼硅玻璃 |
腔體尺寸 | Dia.90*L280mm |
氣路 | 單路 |
清清時間 | 旋鈕式計時器0~99hour |
壓力控制范圍 | 0~2mbar |
外型尺寸 | W345*D420*H211mm |
電源電壓 | 單相AC230V,16A |
真空泵 | 排氣速度4m3/hour,極限真空度0.5Pa |
選配 |
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發(fā)生器 | 2.45GHz和13.56MHz |
腔體材質 | 石英玻璃 |
氣路 | 雙路 |
計時器 | 數(shù)字式計時器 |
減壓閥 | 配專用氣路接口 |
鋼瓶 | 10L
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