目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>> GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)
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更新時(shí)間：2024-04-10 10:03:49瀏覽次數(shù)：298評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用，使用可靠，適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等
·鈣鈦礦鍍膜機(jī)主要由金屬源蒸發(fā)沉積室，真空排氣系統(tǒng)，真空測(cè)量系統(tǒng)，有機(jī)蒸發(fā)源，無機(jī)蒸發(fā)源，樣品臺(tái)系統(tǒng)，電控系統(tǒng)，配氣系統(tǒng)等部分組成
·方便操作，制成的薄膜純度高、質(zhì)量好，膜厚可以準(zhǔn)確的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以獲得清晰的圖形，薄膜的生長(zhǎng)比較單純。
·恢復(fù)工作真空快，大氣至5×10-4Pa≤15分鐘。
| 產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1800X-ZF6 | |
| 主要參數(shù) | 1、極限真空度：5×10-5Pa，保壓12小時(shí) 2、膜厚均勻性≥95%；重復(fù)性≥95%； 3、不銹鋼蒸發(fā)基片托1個(gè)，最大可容納一塊4英寸樣品 4、蒸發(fā)源距離可調(diào)范圍：260mm-320mm 5、蒸發(fā)水冷電極2組（6個(gè)），組成4個(gè)蒸發(fā)舟，最大輸出功率3Kw（電壓 10V；電流300A）。 6、提供2臺(tái)有機(jī)電源，2臺(tái)無機(jī)電源，最多同時(shí)蒸發(fā)4種材料。 7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm（長(zhǎng)×寬×高） | |
| 序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 有機(jī)材料蒸發(fā)電源 | 2套 | - |
| 2 | 無機(jī)材料蒸發(fā)電源 | 2套 | - |
| 3 | 膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng) | 1套 | - |
| 4 | 分子泵 | 1臺(tái) | - |
| 5 | 冷水機(jī) | 1臺(tái) | - |
| 6 | 聚酯PU管（?8、6、4mm） | 10m | - |
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