目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>清洗設(shè)備>>等離子清洗>> PCE-8等離子清洗機(jī)
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更新時(shí)間：2022-09-09 14:31:05瀏覽次數(shù)：3024評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī),等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。配有一個(gè)直連式雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等。內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量。
產(chǎn)品型號(hào) | PCE-8等離子清洗機(jī) |
主要特點(diǎn) | 1、采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等。 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220V 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調(diào)節(jié) 3、真空泵功率:<500W 4、總功率:<600W 5、射頻:13.56MHz 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內(nèi)徑 Φ8.2 ",長(zhǎng)12",采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密 封,法蘭設(shè)有一個(gè)Φ60mm的觀察窗口 7、極限真空度:50mtorr 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定) |
清洗及蝕刻 |  |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1、直連式雙旋真空泵(240L/min) 2、KF25波紋管 3、KF25手動(dòng)擋板閥 |
可選配件 | 1、300W、600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)) 2、2″-6″石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng) 4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng) |
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