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          目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>管式爐>>1000℃-1100℃管式爐>> GSL-1100X-8.5-SR8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

          8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR
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          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號(hào) GSL-1100X-8.5-SR
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 沈陽市
          屬性

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          更新時(shí)間:2016-04-07 14:14:34瀏覽次數(shù):1686評(píng)價(jià)

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          8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

           

          產(chǎn)品型號(hào)

            8.5帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

          主要特點(diǎn)

            1雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

            2滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

            3、設(shè)有K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

            4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

            5、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

            6、已通CE認(rèn)證。

          技術(shù)參數(shù)

            1、電源:?jiǎn)蜗?/span>220V  8KW

            2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長1300mm

            3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

            4、加熱區(qū)域:900mm

            5、恒溫區(qū)域3500mm

            6、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

            7、zui大升降溫速率:10/min

            8、控溫精度:±1

            9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

            10、熱偶檢測(cè)真空接口:KF-25口:1個(gè)

            11、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

            12、爐體:1300mm×680mm×920mm

            13、滑軌:600mm

          產(chǎn)品規(guī)格

            尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

          標(biāo)準(zhǔn)配件

          1

            石英管堵

          1個(gè)

          2

            KF-25真空擋板閥

          1個(gè)

          3

            KF-40不銹鋼波紋管

          1

          可選配件

            1軟件接口模塊和PC機(jī)

            2K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn))

            3、冷水機(jī)

            4、高速雙極旋片泵

            5、數(shù)顯真空計(jì)

            6、高真空機(jī)組(機(jī)械泵和渦輪分子泵)

            5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

            6、石英樣品架

            7、可移動(dòng)爐架(800mm×600mm

           

           

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