目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>管式爐>>1000℃-1100℃管式爐>> GSL-1100X-6-S6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S
產(chǎn)品型號 | 6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S | ||
主要特點 | 1、雙層殼體，配有循環(huán)風冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用雙硅膠密封圈進行密封。 3、設(shè)有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。 4、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、已通過CE認證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：AC 220V 8KW 2、石英管：內(nèi)徑Φ152mm，長1016mm 3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域：600mm 5、恒溫區(qū)域：200mm 6、工作溫度：zui高1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、zui大升降溫速率：10℃/min 8、熱電偶：雙K型 9、控溫精度：±1℃ 10、真空度：10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵） 11、鎧裝熱偶檢測口：1個 12、真空接口：KF40 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg | ||
標準配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 氧化鋁管堵 | 2個 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機 2、石英管 3、石英管堵 4、K型熱電偶（Φ6.35mm×915mm，用于對爐膛溫度校準） 5、真空泵 | ||
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