N-565 帶線性編碼器實(shí)現(xiàn)高精度
具有亞納米級(jí)編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器
N-565
具有高精度的線性平臺(tái)
? 超高精度:小位移為2納米,直接測(cè)
量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
? 長(zhǎng)行程:13 毫米、26 毫米或52 毫米
? 關(guān)機(jī)后自鎖:節(jié)約能量,減少熱量產(chǎn)生
? PiezoWalk技術(shù)帶來長(zhǎng)使用壽命和高可靠
性
? 緊湊型設(shè)計(jì):寬為65毫米、高為20毫米
NEXACT參考級(jí)線性平臺(tái)
帶NEXACT
PiezoWalk驅(qū)動(dòng)器的線性平臺(tái)可在長(zhǎng)行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高精度定位。其配置直接測(cè)量線性編碼器和交叉滾柱軸承
,可實(shí)現(xiàn)高精度。
PiezoWalk技術(shù):高分辨率、低磨損
PiezoWalk技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起。PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨
率、較大的力和高剛性,而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理,其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理,
PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸,這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)
動(dòng)輪步進(jìn)。靜止?fàn)顟B(tài)下,PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖,不消耗能量,無熱量產(chǎn)生。
帶PIOne線性編碼器用于直接位置測(cè)量
高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā),在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。此外,由于信號(hào)
周期短、信號(hào)質(zhì)量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)
化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.