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一、空氣潔凈度的意義
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對實驗、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高,因而調(diào)節(jié)坐氣品質(zhì)的技術(shù)一一空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴大?,F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以至成分、氣味的概念。
現(xiàn)代化的科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動對空氣潔凈度的要求主要是從下述四方面提出來的。
一,加工的精密化?,F(xiàn)代化產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進入到亞微米量級,而且正在向更小的量級發(fā)展。以半導(dǎo)體工業(yè)來說,早已采用了分子束外延技術(shù),可按一個原子層來生長單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進行一個原子的刻蝕剝離等。
二,產(chǎn)品的微型化。半導(dǎo)體元件越來越小,集成度越來越高。超大規(guī)模集成電路可在30mm30mm的芯片上集成上億個以上的元件。原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,已縮小到零點幾立方厘米。光致抗蝕劑層厚度也只有0.2gm,膜的深度只有0.1m,而鉻層甚至只有0.03m。目前,半導(dǎo)體集成電路的圖形線距已小到0.1m以下。
三,產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)。現(xiàn)代許多產(chǎn)品,其純度已由過去認為很純的“化學(xué)純”時代進入了今天的“電子純”或“超純”時代。例如,超大規(guī)模集成電路所用的硅單晶材料可達到13個“9”的超高純度,集成電路生產(chǎn)環(huán)境中的化學(xué)污染物含量要求小于10-2(容積的百分比達到10-12)。又如不能滅菌不能過濾的藥液還必須無菌。對這些材料之所以有這樣高的要求,是因為只有在潔凈環(huán)境下生產(chǎn)和使用,才可能充分發(fā)揮這些材料的固有特性、作用或使其呈現(xiàn)出新的特性來。
第四,產(chǎn)品的高可靠性。對于自動化、信息化時代的產(chǎn)品,其高可靠性是現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的迫切需要,是準(zhǔn)確性和高準(zhǔn)確性的需要,是長時間運行和*保證率的需要,今天更突顯高安全性的需要。例如藥品、食品的生產(chǎn),對無菌動物的詞育,對病原體、腫病毒等危險性生物的實驗加工過程,都要確保產(chǎn)品的高可靠性和人的安全無菌操作以及保護自然界的生態(tài)環(huán)境,這里,潔凈技術(shù)和工程都起到十分重要的作用。
顯然在上述情況中、如果有微粒(固態(tài)的或者液態(tài)的)進入產(chǎn)品,這種微粒就可能構(gòu)成障、短路、雜質(zhì)源和在缺陷。上述四種要求越高,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高。因此,潔凈室技術(shù)已成為科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。
二、潔凈室的概念
空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵(微粒)量多少的程度。含塵濃度高則潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高。
空氣潔凈度本身是無量綱的。但是,空氣潔凈度的高低可用空氣潔凈度級別來區(qū)分??諝鉂崈舳燃墑e則以每立方米空氣中的大允許微粒數(shù)來確定。過去,空氣潔凈度級別一直用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,即所謂動態(tài)級別,自從美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C開始,級別本身才和狀態(tài)脫鉤。亳州無塵室凈化裝修
三、無塵車間空氣凈化
(1)、無塵車間內(nèi)有多種工序時,應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級。
(2)、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈廠房的氣流組級別,宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。
(3)、層流潔凈廠房和亂流潔凈廠房以及運行班次和使用時間不同的潔凈廠房,其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。
(4)、無塵車間內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的大值;亂流潔凈廠房總送風(fēng)量的10%~30%,層流潔凈廠房總送風(fēng)量的2~4%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
(5)、潔凈區(qū)的清掃,宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈廠房內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道,應(yīng)暗敷。
(6)、在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中,對施工和維護管理要求。
四、凈化空調(diào)與一般空調(diào)的區(qū)別
1.空氣過濾方面
一般空調(diào)采用一級,多二過濾,過濾器不設(shè)在末端,沒有亞高效以上過過濾器;而凈化空調(diào)系統(tǒng)必須設(shè)三級至四級過濾器,末端設(shè)過濾器,必須有亞高效以上過濾器,因此,室內(nèi)含塵濃度少也要差幾十倍。
2.氣流組織方面
一般空調(diào)為了以較少的通風(fēng)量達到盡可能提高室內(nèi)溫濕度場均勻度的目的,用亂流度大的氣流組織形式,盡量在室內(nèi)造成二次誘導(dǎo)氣流和某些向上的氣流。而凈室正好相反,要盡量限制和減少塵粒的擴散,盡可能使由于各種原因產(chǎn)生的塵粒迅速流向回風(fēng)口,因此要求減少二次氣流和渦流。至于單向流氣流形式更是一般空調(diào)所沒有的。
3.室內(nèi)壓力控制方面
一般空調(diào)對室內(nèi)壓力沒有明顯要求,而潔凈室則不是要求室內(nèi)正壓就是要求室內(nèi)負壓,小壓差在5Pa以上,這就要求供給一定的正壓風(fēng)量或給予一定的排風(fēng),因此必須采取一定的施,這是一般空調(diào)所不必要的。
4.風(fēng)量能耗方面
一般空調(diào)系統(tǒng)只有10次以下的換氣次數(shù),而凈化空調(diào)系統(tǒng)的換氣次數(shù)少也要15次,多幾百次,是一般空調(diào)的幾倍至幾十倍。亳州無塵室凈化裝修
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