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一、空氣潔凈度的意義
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對實驗、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高,因而調(diào)節(jié)坐氣品質(zhì)的技術(shù)一一空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大。現(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以至成分、氣味的概念。
現(xiàn)代化的科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動對空氣潔凈度的要求主要是從下述四方面提出來的。
1.加工的精密化。現(xiàn)代化產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入到亞微米量級,而且正在向更小的量級發(fā)展。以半導(dǎo)體工業(yè)來說,早已采用了分子束外延技術(shù),可按一個原子層來生長單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個原子的刻蝕剝離等。
2.產(chǎn)品的微型化。半導(dǎo)體元件越來越小,集成度越來越高。超大規(guī)模集成電路可在30mm30mm的芯片上集成上億個以上的元件。原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,已縮小到零點(diǎn)幾立方厘米。光致抗蝕劑層厚度也只有0.2gm,膜的深度只有0.1m,而鉻層甚至只有0.03m。目前,半導(dǎo)體集成電路的圖形線距已小到0.1m以下。
3.產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)?,F(xiàn)代許多產(chǎn)品,其純度已由過去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”時代進(jìn)入了今天的“電子純”或“超純”時代。例如,超大規(guī)模集成電路所用的硅單晶材料可達(dá)到13個“9”的超高純度,集成電路生產(chǎn)環(huán)境中的化學(xué)污染物含量要求小于10-2(容積的百分比達(dá)到10-12)。又如不能滅菌不能過濾的藥液還必須無菌。對這些材料之所以有這樣高的要求,是因為只有在潔凈環(huán)境下生產(chǎn)和使用,才可能充分發(fā)揮這些材料的固有特性、作用或使其呈現(xiàn)出新的特性來。
4.產(chǎn)品的高可靠性。對于自動化、信息化時代的產(chǎn)品,其高可靠性是現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的迫切需要,是準(zhǔn)確性和高準(zhǔn)確性的需要,是長時間運(yùn)行和*保證率的需要,今天更突顯高安全性的需要。例如藥品、食品的生產(chǎn),對無菌動物的詞育,對病原體、腫病毒等危險性生物的實驗加工過程,都要確保產(chǎn)品的高可靠性和人的安全無菌操作以及保護(hù)自然界的生態(tài)環(huán)境,這里,潔凈技術(shù)和工程都起到十分重要的作用。
顯然在上述情況中、如果有微粒(固態(tài)的或者液態(tài)的)進(jìn)入產(chǎn)品,這種微粒就可能構(gòu)成障、短路、雜質(zhì)源和在缺陷。上述四種要求越高,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高。因此,潔凈室技術(shù)已成為科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。
二、無塵室的概念
空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵(微粒)量多少的程度。含塵濃度高則潔凈度低,含塵濃度低則潔凈度高。
空氣潔凈度本身是無量綱的。但是,空氣潔凈度的高低可用空氣潔凈度級別來區(qū)分。空氣潔凈度級別則以每立方米空氣中的大允許微粒數(shù)來確定。過去,空氣潔凈度級別一直用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,即所謂動態(tài)級別,自從美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C開始,級別本身才和狀態(tài)脫鉤。鄭州無塵室凈化裝修
三、無塵室空氣凈化
(1)、無塵車間內(nèi)有多種工序時,應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級。
(2)、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈廠房的氣流組級別,宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。
(3)、層流潔凈廠房和亂流潔凈廠房以及運(yùn)行班次和使用時間不同的潔凈廠房,其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。
(4)、無塵車間內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的大值;亂流潔凈廠房總送風(fēng)量的10%~30%,層流潔凈廠房總送風(fēng)量的2~4%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
(5)、潔凈區(qū)的清掃,宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈廠房內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道,應(yīng)暗敷。
(6)、在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中,對施工和維護(hù)管理要求。
四、凈化空調(diào)與一般空調(diào)的區(qū)別
1.空氣過濾方面
一般空調(diào)采用一級,多二過濾,過濾器不設(shè)在末端,沒有亞高效以上過過濾器;而凈化空調(diào)系統(tǒng)必須設(shè)三級至四級過濾器,末端設(shè)過濾器,必須有亞高效以上過濾器,因此,室內(nèi)含塵濃度少也要差幾十倍。
2.氣流組織方面
一般空調(diào)為了以較少的通風(fēng)量達(dá)到盡可能提高室內(nèi)溫濕度場均勻度的目的,用亂流度大的氣流組織形式,盡量在室內(nèi)造成二次誘導(dǎo)氣流和某些向上的氣流。而凈室正好相反,要盡量限制和減少塵粒的擴(kuò)散,盡可能使由于各種原因產(chǎn)生的塵粒迅速流向回風(fēng)口,因此要求減少二次氣流和渦流。至于單向流氣流形式更是一般空調(diào)所沒有的。
3.室內(nèi)壓力控制方面
一般空調(diào)對室內(nèi)壓力沒有明顯要求,而潔凈室則不是要求室內(nèi)正壓就是要求室內(nèi)負(fù)壓,小壓差在5Pa以上,這就要求供給一定的正壓風(fēng)量或給予一定的排風(fēng),因此必須采取一定的施,這是一般空調(diào)所不必要的。
4.風(fēng)量能耗方面
一般空調(diào)系統(tǒng)只有10次以下的換氣次數(shù),而凈化空調(diào)系統(tǒng)的換氣次數(shù)少也要15次,多幾百次,是一般空調(diào)的幾倍至幾十倍。鄭州無塵室凈化裝修
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