無塵室分類：

1.亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高無塵室等級(jí)。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制

程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

2. 層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3. 復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵室設(shè)計(jì)方案注意事項(xiàng)：

1.無塵車間設(shè)計(jì)內(nèi)容有合理布置工藝流程和建筑平面；

2. 選擇滿足無塵車間特點(diǎn)的建筑構(gòu)造和材料；

3. 無塵車間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源；

4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；

5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備； 無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。中衛(wèi)無塵室凈化裝修

無塵室設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮的幾個(gè)特性：  

耐久性：  

  無塵車間要有符合環(huán)境、無塵車間內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無塵車間等級(jí)來建造。半導(dǎo)體傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。  

清洗：   

在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)重要的企業(yè)。 

適應(yīng)性：  

 一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致大的損失。擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變的關(guān)鍵，所以他們從不將初的設(shè)計(jì)定型。

維護(hù)性：

對(duì)無塵車間而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須準(zhǔn)確，無塵潔凈室的風(fēng)管系統(tǒng)要保證密封性, 嚴(yán)格檢測(cè)風(fēng)管泄漏, 定期進(jìn)行漏光測(cè)試或漏風(fēng)測(cè)試, 監(jiān)測(cè)法蘭或螺紋密閉性, 必要時(shí)進(jìn)行焊接或密封膠處理。

無塵室的構(gòu)成：

一般情況下，無塵室是指生產(chǎn)和檢驗(yàn)所需的工作環(huán)境，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對(duì)應(yīng)的功能間，如注塑間、干燥間等；對(duì)于檢驗(yàn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與檢驗(yàn)有關(guān)的功能間，如陽性對(duì)照間、無菌檢驗(yàn)間和微生物限度間等；為生產(chǎn)服務(wù)的輔助功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。

無塵的氣流組織形式是實(shí)現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對(duì)面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇健y流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。

無塵室的氣流應(yīng)滿足潔凈度和人體健康的要求，如關(guān)鍵工作操作點(diǎn)應(yīng)位于潔凈空氣流的上風(fēng)側(cè)，對(duì)散發(fā)有害物質(zhì)的工作點(diǎn)，人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對(duì)的下風(fēng)側(cè)。應(yīng)使無塵車間氣流流向單一。非單向流潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置操作臺(tái)時(shí)，其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風(fēng)口附近，因?yàn)榛仫L(fēng)口處的潔凈度比較差?；仫L(fēng)口應(yīng)均勻布置在潔凈室（區(qū)）的下部，高度應(yīng)低于工作臺(tái)面。潔凈室（區(qū)）內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風(fēng)側(cè)，以免氣流短路。中衛(wèi)無塵室凈化裝修