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          韓國NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測量系統(tǒng)

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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 型號 NanoView-1800
          • 品牌 其他品牌
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 上海市
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          更新時(shí)間:2023/12/07 08:17:44瀏覽次數(shù):2040

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          韓國NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測量系統(tǒng)
          型號:NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700

          詳細(xì)介紹

          韓國NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測量系統(tǒng)

          型號:NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700

           

          高精度非接觸式表面形貌檢測

          無損3D表面輪廓分析

          宜用平臺提供快速、高效的工藝流程的監(jiān)控

          全面、直觀的軟件提供了式樣和應(yīng)用靈活性

           

           

          主要功能

          3D形貌測量

          高,深,間隔(從納米級到5mm

          粗糙度(R參數(shù))表面(S參數(shù))

          面積信息(體積,面積)

          2D測量

           

          NanoView可靠性在許多應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)揮性能。

          NanoView 提供完整的表面形貌納米測量和分析技術(shù)方案。

           

          韓國NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測量系統(tǒng)

          NV-Serise技術(shù)參數(shù)

          型號

          NanoView-1800

          NanoView-2400

          NanoView-2700

          測量原理

          非接觸三維 白光掃描干涉法(WSI/移相干涉法(PSI

          現(xiàn)場放大鏡

          1.0×(標(biāo)配)

          1.0×(標(biāo)配)

          1.0×(標(biāo)配)

          物鏡

          單鏡頭

          可選5個(gè)鏡頭(手動鼻輪)

          可選5個(gè)鏡頭(自動鼻輪)

          光源

          白光LED光源

          掃描方式

          閉環(huán)控制壓電促動掃描方式

          縱向掃描范圍

          Max 270um(可拓展到:5mm

          縱向掃描速度

          12um/sec1X~5X倍率可選)

          傾斜

          ±3°(樣品臺傾斜)

          頭部傾斜±5°(手動模式)

          頭部傾斜±5°(自動模式)

          縱向分辨率

          WSI:0.5nm / PSI:0.1nm

          橫向分辨率

          0.2~4um(取決于物鏡/視場放大鏡倍率)

          臺階重復(fù)性

          0.5%1s

          XY樣品臺行程

          140×140mm(手動)

          230×230mm(自動)

          230×230mm(自動)

          XY樣品臺行程

          50×50mm(手動)

          100×100mm(手動)

          100×100mm(自動)

          Z軸行程

          30mm(手動)

          100mm(手動)

          100mm(自動)

          環(huán)境要求

          溫度:15~30℃,溫度變化量:<1/15min

          濕度:<60%,無凝結(jié)


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