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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
QRUI-2系列探針臺(tái)產(chǎn)品簡介：
是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺(tái)。該系列探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計(jì) ，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。顯微鏡平移臺(tái)可進(jìn)
行X-Y-Z方向精密位移調(diào)節(jié) ，顯微鏡放大倍率高 ，操作方便。同時(shí)支持多種功能的升級(jí) ，非常適合晶圓級(jí)的測試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業(yè)的測試及研究領(lǐng)域。在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用。
QRUI-2系列探針臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢：
顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動(dòng)升降，保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量。 Platen三階抬桿，便于樣品和探針快速分離 ，也可以用于探針卡的扎針。可升級(jí)性強(qiáng) ，最高可升級(jí) 220G 高頻 ，也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。載物臺(tái)氣浮快速移動(dòng)，可快速定位測試樣品
詳細(xì)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) | 產(chǎn)品型號(hào) | QRUI-2-100 | QRUI-2-150 | QRUI-2-200 | QRUI-2-300 | |
探針 臺(tái)本 體 | 電壓電流（可定制） | 500V/1A(標(biāo)準(zhǔn)) | 500V/1A(標(biāo)準(zhǔn)) | 500V/1A(標(biāo)準(zhǔn)) | 500V/1A(標(biāo)準(zhǔn)) | |
材料 | 航空鋁 | |||||
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) ， 一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾。 | |||||
卡盤大小 | 4" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào) | 6"，360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ，可微調(diào) | 8",360 度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 12",360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ，可微調(diào) | ||
卡盤行程和精度 | 4"*4" ，精度 1um，氣浮快速移動(dòng) | 6"*6" ，精度 1um，氣浮快速移動(dòng) | 8"*8" ，精度 1um，氣浮快速移動(dòng) | 12"*12 ，精度 1um，氣浮快速移動(dòng) | ||
卡盤升降功能 | Chuck可Z軸升降10mm，精度為1um | |||||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片或者射頻器件) | |||||
背電極測試功能 | 具備 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | |||||
針座 平臺(tái) | 材質(zhì) | U 型平臺(tái) ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力 | ||||
升降 | 三階抬桿，接觸，分離和架桿；微調(diào)行程為30mm，分辨率為1um | |||||
大小 | 最多可放置4~6個(gè)探針座 | 最多可放置8~10個(gè)探針座 | ||||
顯示 系統(tǒng) | 顯微鏡成像系統(tǒng) | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng) | ||||
倍率范圍 | 15X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu) ，氣動(dòng)升降 XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500萬像素 ，幀率 60fps ，帶拍照/錄像/測量功能 | |||||
探針 座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | ||||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | |||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | |||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||||
電力需求 | 220V/50HZ | |||||
詳細(xì)配置方案可討論后給
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