臭氧發(fā)生器低溫氧化脫硝技術的原理主要是利用臭氧氧化過程中的氧化和吸收反應。氧化反應主要是利用臭氧的強氧化性，將不溶性低濃度氮氧化物氧化成可溶性高濃度氮氧化物，然后在洗滌塔中吸收達到去除的目的。在不同濃度和比例的NOx等污染物下，脫硝系統(tǒng)可以同時有效去除煙氣中的NOx、二氧化硫和顆粒物，不影響其他污染物的控制技術，是傳統(tǒng)脫硝技術的有效補充或替代技術。

“十一五”以來，在國家相關科技計劃的支持下，我國在臭氧發(fā)生器放電結構和放電介質(zhì)的設計、大功率變頻諧振電源和臭氧發(fā)生器參數(shù)的研究、模塊化結構和放電管的設計、冷卻系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)和PLC控制系統(tǒng)的研究、臭氧發(fā)生系統(tǒng)的可靠性分析等方面取得了很大進展，大大提高了大型臭氧發(fā)生器的生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。降低生產(chǎn)成本，延長產(chǎn)品使用壽命，提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，降低產(chǎn)品成本，大大提高產(chǎn)品質(zhì)量，大大降低產(chǎn)品價格，大大提高產(chǎn)品經(jīng)濟效益。

臭氧發(fā)生器低溫氧化脫硝技術工藝系統(tǒng)結構簡單，在原有脫硫塔的基礎上進行改造，同時實現(xiàn)脫硫脫硝；脫硝效率高（高達90%以上）；根據(jù)煙氣中氮氧化物的實時監(jiān)測，可以準確地控制氧化劑（臭氧）的用量，使系統(tǒng)的運行效率不受鍋爐運行狀態(tài)的影響；系統(tǒng)運行溫度低，可實現(xiàn)低溫脫硝處理；系統(tǒng)的運行效率不會隨著脫硝系統(tǒng)停機維護時間的增加而降低，大大減少了脫硝系統(tǒng)的停機維護時間；臭氧的氧化能力也可以實現(xiàn)對煙氣中其他有害成分（如汞）的氧化去除，滿足未來日益嚴格的環(huán)境要求。