50KEV光斑可調(diào)節(jié)離子源配備雙燈絲可集成濾波器MODEL 1450

不平等離子槍離子源1450型設(shè)計(jì)特點(diǎn)

• 可調(diào)光斑尺寸≥5 μm，用于空間定義的濺射或注入
• 發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流
• 連續(xù)可變束能量5kV至50kV
• 用于光束掃描和散光校正的雙八極桿
• 縮小光斑尺寸的預(yù)物鏡掃描
• 燈絲不能直接對準(zhǔn)樣品，以免污染樣品
• 客戶可更換的燈絲和光束微調(diào)孔
• 雙燈絲在燈絲壽命終止時(shí)提供操作支持
• 制造中使用的所有UHV兼容和抗蝕刻材料
• 差動泵送以最小化主室氣體負(fù)載
• 在惰性氣體和氮?dú)夥秶鷥?nèi)運(yùn)行

50KEV光斑可調(diào)節(jié)離子源離子源1450型選配

• 用于氧氣操作的氧化釷涂層銥絲
• 可變孔徑，光斑尺寸低至1um
• 用于快速束脈沖的空白板
• 與銫、鋰、鈉、鉀等一起操作的堿金屬源
• 源烘箱允許產(chǎn)生可蒸發(fā)材料的離子

• 集成文氏濾波器的信號源

  
  

  
  

  
  

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• 離子源（英文名稱：Ion source）是使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機(jī)、離子束刻蝕裝置、離子推進(jìn)器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備的部件。

• 離子源是一門具有廣泛應(yīng)用領(lǐng)域的學(xué)科，在許多基礎(chǔ)研究領(lǐng)域如原子物理、等離子化學(xué)、核物理等研究中，離子源都是十分重要的設(shè)備。