A.    

工作室尺寸

1、 真空容器：Φ1000×1200mm（直徑×直段長度）；

2、 有效工作區(qū)（熱沉內(nèi)）：Φ800×1100mm（直徑×直段長度）0.55m3

外形尺寸

2800×1500×2000mm（D×W×H）

*外形尺寸包括了控制箱等全部突出尺寸

B.    

真空度指標(biāo)

1、 極限真空度：≤5×10-5Pa（空載、真空潔凈狀態(tài)）

2、 空載真空度：≤5×10-4Pa（空載）

3、 工作真空度：≤1.3×10-3Pa（負(fù)載）

4、 降壓速率：常壓→1.3×10-3Pa≤90min

5、 泄漏率：≤1×10-8Pa·m3/s

6、 壓力恢復(fù)速率：≤10KPa/min

C.    

溫度指標(biāo)

1、 提供熱沉+電熱鼠籠結(jié)構(gòu)，即可提供環(huán)境溫度控制能力；

2、 制冷模式：壓縮機(jī)復(fù)疊制冷系統(tǒng)+液氮輔助制冷系統(tǒng)

3、 熱沉可控制溫度范圍：

1)   機(jī)械制冷+鼠籠加熱：可滿足-70℃～+130℃；

2)   液氮制冷：-70℃～-130℃；

4、 控溫精度：

1)   -70℃～+130℃范圍內(nèi)：≤±1℃；

2)   -70℃～-130℃范圍內(nèi)：≤±5℃；

5、 熱沉溫度均勻度：≤±3℃（穩(wěn)態(tài)測試）；

6、 熱沉升降溫速率：

1)   -70℃～+130℃范圍內(nèi)：≥2℃/min；

2)   -70℃～-130℃范圍內(nèi)：≥0.5℃/min；

D.    

設(shè)備噪音

小于75分貝

E.    

設(shè)備總裝機(jī)容量

設(shè)備總裝機(jī)功率：～26.5KW，其中

1、 旋片泵：2.2KW*1臺

2、 羅茨泵：1.1KW*1臺

3、 低溫泵：5.0KW*1臺

4、 加熱器：9.0KW

5、 制冷機(jī)組：6HP*2臺

6、 照明：40W