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          技術(shù)文章

          巴魯夫傳感器解決方案丨在載具傳送中實現(xiàn)非接觸式精確定位的理想之選

          閱讀:1244          發(fā)布時間:2024-7-12


          在全球數(shù)字化的浪潮中,半導(dǎo)體行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。并且隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,對高性能半導(dǎo)體芯片的需求也在日益增長。


          在半導(dǎo)體制造過程中,每一個環(huán)節(jié)都必須達到j(luò)i高的精度和可靠性,以滿足日益嚴(yán)苛的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。載具傳送作為保障晶圓在生產(chǎn)過程中安全、高效移動的關(guān)鍵步驟,其創(chuàng)新和優(yōu)化對于整個半導(dǎo)體生產(chǎn)具有重要意義。



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          巴魯夫為您提供高效且可靠的

          載具傳送解決方案

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          精確與高效

          無論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒,巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統(tǒng)能夠全自動監(jiān)測AMHS的移動,無論是在短距離的RGV應(yīng)用還是長距離的OHV應(yīng)用中,都表現(xiàn)出ji高的可靠性。



          非接觸式定位

          巴魯夫的非接觸式系統(tǒng)提供了精確的定位能力,確保晶圓能夠安全、可靠地傳送至每個工序,有效避免了擦傷和裂口的問題。



          可追溯性

          系統(tǒng)還具備強大的可追溯性,能夠?qū)崟r記錄載具的位置,確保生產(chǎn)過程的透明度和追蹤能力。




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          接下來讓我們一起來看看巴魯夫產(chǎn)品在載具傳送環(huán)節(jié)的具體應(yīng)用:

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          檢測載具是否存在

          Balluff Micromote®光學(xué)傳感器頭


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          如果要檢測裝載埠上是否有載架,巴魯夫的對射型和漫反射型傳感器以其扁平構(gòu)造巧妙集成于裝載埠,能夠節(jié)省空間并進行精準(zhǔn)檢測,確保機器只在載具??繒r啟動,優(yōu)化生產(chǎn)流程。


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          產(chǎn)品亮點


          1

          極為扁平的構(gòu)造

          2

          節(jié)省空間

          3

          單獨聚焦





          可靠跟蹤載具

          BVS視覺傳感器


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          為了能夠跟蹤AMHS系統(tǒng)中的載具,您可以為載具配置二維碼。我們的BVS視覺傳感器能夠識讀數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼和條形碼,從而能夠偵測到輸送載具的每一個動作,確保您隨時掌握輸送載具的動態(tài)。

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          產(chǎn)品亮點


          1

          易于集成,操作簡單直觀

          2

          所有數(shù)據(jù)均集中存儲調(diào)用

          3

          將大量數(shù)據(jù)與過程網(wǎng)絡(luò)分離,zuui大程度減少了數(shù)據(jù)負(fù)荷




          持續(xù)檢測AMHS位置

          BML磁柵編碼系統(tǒng)


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          采用我們的BML磁編碼位置測量系統(tǒng),您可以實現(xiàn)對輸送車位置的精準(zhǔn)監(jiān)測。這些傳感器可以根據(jù)您的特定測量需求進行定制配置,具有高度精確性,確保您的載具順暢且準(zhǔn)確地傳送至裝載架。

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          產(chǎn)品亮點


          1

          非接觸式測量原理,即無磨損

          2

          極其可靠,高度精確

          3

          用途多樣,磁條最長可達48m,可根據(jù)需求裁剪




          檢測AMHS終端位置

          巴魯夫BES電感式傳感器


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          我們?yōu)槟O(jiān)測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的具體需求,我們的電感式、電容式或光電式傳感器能夠確認(rèn)AMHS位置是否正確,您的載具是否精確定位在裝載架上。


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          產(chǎn)品亮點


          1

          非接觸式,無磨損

          2

          技術(shù)多樣性,高效應(yīng)對各種需求


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          半導(dǎo)體自動化手巴魯夫

          半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展過程中,巴魯夫以其前瞻性的技術(shù)為您的生產(chǎn)提供堅實支撐。我們致力于提供創(chuàng)新的自動化解決方案,通過集成先進的傳感器、監(jiān)測技術(shù)和智能控制,優(yōu)化您的生產(chǎn)流程,提升產(chǎn)品質(zhì)量并降低成本,助力您應(yīng)對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的各種挑戰(zhàn)。


          同時我們根據(jù)您的需求提供定制化的解決方案。無論是提高生產(chǎn)效率、優(yōu)化資源配置,還是增強生產(chǎn)過程的透明度和可追溯性,巴魯夫都能為您提供全面的支持。攜手巴魯夫,開啟卓、越之旅,立即探索我們的技術(shù),讓創(chuàng)新yin領(lǐng)您的生產(chǎn)。


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