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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,綜合 |
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KLA-Tencor Puma 9000 晶圓檢測儀
是一款先進的晶圓檢測和計量設備，廣泛應用于半導體制造業(yè)。該系統(tǒng)利用KLA-Tencor創(chuàng)新的Streak™暗視野成像技術，成功克服了傳統(tǒng)掃描激光與光電倍增管（PMT）式檢測系統(tǒng)的限制，從而達到業(yè)界領xian的效能。
Puma 9000具備高分辨率成像、高速處理和自動化功能，能夠提供精確的測量和用戶友好的界面設計。它結(jié)合了光學掃描和高速成像技術，并采用固態(tài)線性傳感器，以確保穩(wěn)定且可重復的測量結(jié)果。此外，該系統(tǒng)還支持多種像素尺寸（如sL10, sL15, sL20, sL40和sL60），并配備Nd:Yag 355nm脈沖入射激光器，使其在缺陷檢測方面具有極gao的靈敏度。
Puma 9000不僅適用于質(zhì)量控制和先進材料結(jié)構(gòu)的精密測量，還能顯著提高生產(chǎn)效率和良率。其模塊化和可擴展的設計使其能夠適應不同的生產(chǎn)需求，并通過長期可靠性保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。
值得注意的是，盡管Puma 9000已經(jīng)非常成功，但其后續(xù)版本Puma 91xx系列在生產(chǎn)能力、靈敏度和易用性方面都有所改進，幾乎實現(xiàn)了兩倍的生產(chǎn)能力和更高的靈敏度。因此，許多現(xiàn)有的Puma 9000系統(tǒng)可以現(xiàn)場升級到91xx系列的性能水平。
總之，KLA-Tencor Puma 9000是一款功能強大且高效的晶圓檢測和計量設備，適用于各種半導體制造過程中的質(zhì)量控制和材料分析需求。
暗視野成像技術
自動化晶圓檢驗和計量系統(tǒng)
高精度晶圓測試與計量設備
Streak™ 暗視野成像技術
集成光學、內(nèi)置激光干涉儀
高速處理與自動化設計
生產(chǎn)吞吐量提升兩倍
多種像素尺寸支持
Nd:Yag 355nm脈沖入射激光器
半導體制造業(yè)需求滿足
光學掃描與缺陷檢測能力
高靈敏度缺陷檢測與數(shù)據(jù)分析報告
用戶友好的界面設計
長期可靠性保障
Recipe優(yōu)化時間大幅縮短，保護檢查員能力，進一步減少食譜優(yōu)化周期時間
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