THERMOVAC TTR91N真空計(jì)
Werne+Thiel FS1-30-G80-X-K-I4/1
KNF PJ14896.86
tecumseh CAE4440Y Tecumseh AE 4440Y-FZ1A-DCAE
HS-COOLER KS25-BCV-421 L2400
drei bond F9-3 4.220.02.1023.030 離心盤(pán)
HONSBERG CM2K-025HM-SR Honsberg 943762 CM2K-025HM
stanhope-seta Shell Capsules (pack of 160) Part Number 86500-001
SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5 1.52MPA
SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5 1.0MPA
SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5 1.68MPA
SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5 0.57MPA
MILS 3.56832+3.56833+3.56834 泵的型號(hào)EVISA E100 HV
ABB AC-2 FZ5103 48/450
Atlas Copco LBB 36 H026-U A3383289 only drilling part needed, no connector required and part mentioned in photo not needed / Atlas Copco LBB 36 H026U PNEUMATIC DRILL
Jakob Antriebstechnik IHE 100 nr:04011286/12032043 編碼器Jakob IHE 100 Art.-Nr. 040 - 11286
M+C TechGroup Germany F-2GF 90F0011X
TUENKERS PKS16.1A00T03105Grad 夾鉗氣缸
abb 90P1007 Tube Set for peristaltic pump SR25
按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類(lèi),分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
波爾登規(guī)
波爾登規(guī)
如右圖所示,細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過(guò)測(cè)量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻真空計(jì),它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
THERMOVAC TTR91N真空計(jì)