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超高純減壓閥特點:1、死體積小,容易吹掃 2、每臺產(chǎn)品都進(jìn)行氦氣檢測、壓力重復(fù)性測試等 3、材料:SS316L(VIM+VAR可選) 4、膜片選用HC276(可選用其它工藝) 5、加工得Ra小于等于0.25微米 5、可在大宗氣體與特種氣體中使用(選型提前注意介質(zhì)).
高純減壓閥特點:每種產(chǎn)品都進(jìn)行泄漏檢測、壓力重復(fù)性測試等;材料:SS316L(可選用其它工藝) ;膜片選用SS316L(可選用其它工藝或材料);可在大宗氣體與特種氣體中使用(選型提前注意介質(zhì))。
超高純隔膜閥特點:死體積小,容易吹掃;每臺產(chǎn)品都進(jìn)行氦氣檢測、快速重復(fù)性好;材料:SS316L(VIM+VAR/其它材料可選);膜片選用Ni-Co alloy/HC276(可選用其它工藝) ;加工得Ra小于等于0.25微米 ;可在大宗氣體與特種氣體中使用(選型提前注意適合介質(zhì));超長使用壽命。
潔凈壓力表特點:材料:SS316L(VIM+VAR/其它材料可選) ;加工得Ra小于等于0.25微米(半導(dǎo)體級);可在大宗氣體與特種氣體中使用(選型提前注意適合介質(zhì));壓力精度:1.6級;表盤經(jīng)抗UV處理。
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