AFM FFAF030 流量計(jì)
BRR是掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡的統(tǒng)一。
它結(jié)合了兩個(gè)方面的特性,而不會影響兩個(gè)組件的性能。此外,新系統(tǒng)比單個(gè)系統(tǒng)具有更多優(yōu)勢。我們實(shí)現(xiàn)組合式SEM-SPM系統(tǒng)的方法是基于將兼容真空的SPM集成到現(xiàn)有SEM系統(tǒng)中。選擇該組合以達(dá)到系統(tǒng)的性能和可用性。該策略的另一個(gè)好處是可以將現(xiàn)有的SEM系統(tǒng)升級為SEM-SPM組合系統(tǒng)。在這兩種情況下,SEM的功能均不受限制,因此可以進(jìn)行SEM / SPM組合測量
AFM FFAF030 流量計(jì)
DME建立的該系統(tǒng)是 MERLIN電子顯微鏡和AURIGA Crossbeam工作站的SEM-AFM集成 。也可以隨時(shí)對現(xiàn)有系統(tǒng)進(jìn)行改造。該系統(tǒng)通過將DME開發(fā)的SPM集成到蔡司AURIGA系統(tǒng)中來實(shí)現(xiàn)。在該系統(tǒng)中,將SEM,F(xiàn)IB和SPM結(jié)合在一起并可以在組合測量中執(zhí)行??。SPM安裝在特別設(shè)計(jì)的平臺上,該平臺可進(jìn)行垂直和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。該階段是AFM主門的一部分(請參見左圖)。在此設(shè)置中,SPM可以與FIB電子束交叉點(diǎn)對齊,并繞其旋轉(zhuǎn)大約75°的角度。這使操作員可以將電子束或FIB垂直于樣品表面對齊。整個(gè)SPM的旋轉(zhuǎn)開辟了使用市售Si和SiN SPM探針的可能性,因?yàn)榭梢詮膫?cè)面角度用SEM觀察(參見右圖)。借助SEM的自由視野,可以將SPM定位到在SEM下以nm精度進(jìn)行整體觀察的目標(biāo)區(qū)域。從垂直于樣品的觀察位置來看,SPM上的觀察被懸臂本身遮擋了??梢詫PM定位到在SEM進(jìn)行整體觀察的情況下感興趣的區(qū)域。
好用的流量計(jì)在這里 BREMAS VXCR0250007GT6 工控凱盛源供應(yīng)備件
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好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-MS11LG-H00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-040 DW-AS-604-M8-001
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-BT11RM-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 EUROTEK ET/RF 3130-FTF 備件
好用的流量計(jì)在這里 kistler 6157BA 壓力傳感器
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好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11W2-M00 凱盛源供應(yīng)備件
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好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 620-000-573 LTK-4150-104
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI SPPC15501 凱盛源供應(yīng)備件
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好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI SV260724 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI CTD5S1505AXXX 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-577 DW-AV-513-M8-276
好用的流量計(jì)在這里 NORELEM NLM 07111-10610 備件
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好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21K-BT02RT-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS31L-PT30RT-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS43L-PT02LB-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 620-100-314 LLS-5050-000
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好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FUR-FARR25-20 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 ROFIN-LASAGLASERS 330771 電源3
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 605-000-692 CSS-1181-213
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FKA03A12853 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 SCHMALZ 10.01.06.03737 備件
好用的流量計(jì)在這里 CALPEDA 61110311000 工控凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 KTR GR-75(161/81/30)
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI ICS05S23F15A2NO 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-MT20W0-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 FLUID-TEAM MDFVA-06-SCCA-LWN 油壓傳動閥
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI CONB15NF-S2 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 BREMAS VXE40000II 工控凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PMT20I 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS31L-NT11P0-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 MTS RHM0450MD701S2G2101 傳感器
好用的流量計(jì)在這里 FUNKE+HUSTER EV21 230V 50HZ/60HZ 105DB IP54 30MA 報(bào)警器
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS42L-MO11BM-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-745 DW-AS-50A-P12
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI AMB30-S 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Phonix Contact 2961192 REL-MR- 24DC/21-21
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI RGS1A60D92KKE 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Bürklin 52 F 1152 插座
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 220-820-831 DW-DS-615-M8
好用的流量計(jì)在這里 CEJN 199402120 凱盛源供應(yīng)備件
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好用的流量計(jì)在這里 Mayr 120/899.012.11 電磁制動器
好用的流量計(jì)在這里 engler M60.1.B4.195.01.01.1.70O 液位傳感器
好用的流量計(jì)在這里 BERNSTEIN 6062220019 F2-U2ZD/U2ZD Interruttore a pedale
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好用的流量計(jì)在這里 HYDAC EDS346-3-400-000 開關(guān)
好用的流量計(jì)在這里 LIMAN B-059-01-003-09 A-672-17-002-03 K-800-00-697 靜電噴漆設(shè)備零件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-820-640 DW-AD-613-M12-126
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FUDC8A1KVPV 凱盛源供應(yīng)備件
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好用的流量計(jì)在這里 Goetze 76.90 H-60 NB60 11000104 機(jī)械密封
好用的流量計(jì)在這里 ITW A12071-00 飛濺盤組件
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好用的流量計(jì)在這里 parker PGP517A0140CT1D7NL3L2B1B1 3339111503 齒輪泵
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11PR-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-620-041 DW-AS-602-065
- 基于DME UHV AFM和卡爾·蔡司AURIGA®橫梁工作站。
- SEM和FIB的交叉點(diǎn)位于懸臂。樣品掃描儀的設(shè)計(jì)允許在空間和樣品上*相同的點(diǎn)對所有三種技術(shù)進(jìn)行組合測量。
- 極其穩(wěn)定的掃描單元,專為三維單原子分辨率而設(shè)計(jì)
- 掃描儀規(guī)格:掃描范圍(x,y,z)10 µm x 10 µm x 1 µm,在所有三個(gè)維度上的真實(shí)分辨率亞原子
- SEM和AFM組件的單一軟件界面
- AFM和SEM圖像的通用數(shù)據(jù)存儲
- SEM視角從0°到85°,同時(shí)保持小SEM工作距離為5 mm
- FIB可以在0°和54°的位置達(dá)到懸臂和樣品,并通過FIB進(jìn)行原位銳化
- 通過用戶可更換的SEM門,支持在AFM和標(biāo)準(zhǔn)Auriga®功能之間輕松切換
- 通過使用所有標(biāo)準(zhǔn)AFM懸臂實(shí)現(xiàn)無限功能,無需有源探頭
- 支持所有常見的AFM操作模式
- 懸臂更換時(shí)自動進(jìn)行激光/探測器對準(zhǔn)
- 通過簡單的門更換就可以將現(xiàn)有的Auriga®SEM更新為BRR功能