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          技術(shù)文章

          雙電測四探針測試儀..

          閱讀:1000          發(fā)布時間:2020-9-30

          雙電測四探針測試儀/四探針測試儀/四探針檢測儀  型號:GSZ-RTS-9

          采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

          是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
             測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

          測量范圍

          電阻率:10-4105 Ω.cm(可擴展);  
          方塊電阻:10-3106 Ω/□(可擴展);
          電導(dǎo)率:10-5104 s/cm;
          電阻:10-4105 Ω;

          可測晶片厚度

          ≤3mm

          可測晶片直徑

          140mmX150mm(S-2A型測試臺);
          200mmX200mm(S-2B型測試臺);
          400mmX500mm(S-2C型測試臺);

          恒流源

          電流量程分為1μA、10μA100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

          數(shù)字電壓表

          量程及表示形式:000.00199.99mV;    
          分辨力:10μV;
          輸入阻抗:>1000MΩ;
          精度:±0.1%
          顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

          四探針探頭基本指標(biāo)

          間距:1±0.01mm;
          針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
          機械游移率:≤0.3%
          探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
          探針壓力:516 牛頓(總力);

          四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

          (見探頭附帶的合格證)

          模擬電阻測量相對誤差
          ( JJG508-87進(jìn)行)

          0.01Ω0.1Ω、、10Ω、100Ω、1000Ω10000Ω≤0.3%±1

          整機測量大相對誤差

          (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

          整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

          ≤4%

          計算機通訊接口

          并口

          標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

          溫度:23±2;
          相對濕度:≤65%
          無高頻干擾;

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

           

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