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          NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機
          • NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機
          舉報

          貨物所在地:國外

          地: 美國

          更新時間:2024-09-09 21:00:07

          瀏覽次數(shù):373

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          ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)

          NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機:*進的全自動濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱(Z高可加熱到700度)功能的8“旋轉樣平臺,Z大可支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過使用RF射頻開關,RF射頻或DC直流電源可以切換到多磁控管模式。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

          NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機

          NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機產(chǎn)品特點:

          • 不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
          • 70,250或500 l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵
          • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
          • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
          • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
          • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
          • 帶密碼保護功能的多級訪問控制
          • *的安全聯(lián)鎖

          選配項:

          • 向上、向下或側面濺射
          • RF、DC以及脈沖DC濺射
          • 共濺射、反應濺射
          • 組合濺射
          • RF或DC偏壓(1000V)
          • 樣品臺可加熱到700°C
          • 膜厚監(jiān)測儀
          • 基片的RF射頻等離子清洗
          • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

          應用:

          • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆
          • 光學以及ITO涂覆
          • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆
          • 帶RF射頻等離子放電的反應濺射

          型號:

          • NSC-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng)
          • NSC-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng)
          • NSC-3000:PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng)
          • NSC-1000:半自動控制的臺式系統(tǒng)

          (以下為雙系統(tǒng)型號)

          • NSR-4000:濺射/RIE系統(tǒng)
          • NSP-4000:濺射/PECVD系統(tǒng)
          • NST-4000:濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)

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