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當前位置:上海韜世實業(yè)發(fā)展有限公司>>美國派克PARKER>>PARKER電磁閥>> SM930 系列美國派克PARKER隔膜閥
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產(chǎn)品型號SM930 系列
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地上海市
更新時間:2024-11-24 21:38:07瀏覽次數(shù):1246次
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美國派克PARKER隔膜閥產(chǎn)品描述:
SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧,大限度地減少粒子生成和氣體截留,減少對半導體應用至關(guān)重要的過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片應力,提供穩(wěn)定和無需維護使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備,提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內(nèi)部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼。隔膜材料為高強度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料,允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴格設計組成,使SM930系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命,入口壓力高達250 psig.
SM930系列氣動閥可配套限位開關(guān)或接近開關(guān)提供開-關(guān)位置指示。也有多種閥體結(jié)構(gòu),包括930Y(Y閥)和930(面密封和短管接口). SM930系列閥門的內(nèi)部(閥座)密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,使用質(zhì)譜儀達到在苛刻超高純應用中的性能和穩(wěn)定性.
美國派克PARKER隔膜閥特點/優(yōu)勢:
• 有C和W密封貼面安裝1-1/8
• 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
• 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性工礦)
• 內(nèi)部無彈簧無螺紋,大限度地減少粒子生成和氣體截留
• 壓力范圍:真空到250 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 H
• 常規(guī)氣動動作壓力75 psig
應用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)
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