產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
薄膜納米厚度測(cè)量?jī)x自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)依靠F54良好的光譜測(cè)量系統(tǒng),可以很簡(jiǎn)單快速地獲得大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。
可測(cè)樣品膜層基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量??蓽y(cè)樣品包括:
薄膜納米厚度測(cè)量?jī)x相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造•光刻膠•氧化物/氮化物/SOI•晶圓研磨減薄/封裝
液晶顯示器•盒厚•聚酰亞胺•ITO
光學(xué)鍍膜•硬涂層•抗反射涂層•濾光片
微電子•光刻膠•硅膜•氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
氧化硅 | 氮化硅 | 類金剛石DLC |
光刻膠 | 聚合物 | 聚亞酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |