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詳細(xì)介紹
德國HEIDEHAIN海德漢直線光柵尺:
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機(jī)、比較儀和其它長度計(jì)量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。
增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計(jì)數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn)，開機(jī)時必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零，操作非常簡單、快捷。
式光柵尺無需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。
德國HEIDEHAIN海德漢直線光柵尺:
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
•半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
•PCB電路板組裝機(jī)
•超高精度機(jī)床
•高精度機(jī)床
•測量機(jī)和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
•直驅(qū)電機(jī)
LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動進(jìn)行位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。
LIC 4100
| 型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 精度等級 | 局部 | ||||
| LIC 4113 LIC 4193 | ± 3 μm ± 5 μm | ≤ ± 0.275 μm/ 10 mm | 玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入在安裝面中 | ± 20 nm | 240 mm 至3040 mm |
| LIC 4115 LIC 4195 | ± 5 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 | ± 20 nm | 140 mm 至 28440 mm |
| LIC 4117 LIC 4197 | ± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 20 nm | 240 mm 至 6040 mm |
| LIC 4119 LIC 4199 | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1020 mm |
LIC 2100
| 型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 精度等級 | 局部 | ||||
| LIC 2117 LIC 2197 | ± 15 μm |
| 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm |
| LIC 2119 LIC 2199 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
如有需求，請見： 德國HEIDEHAIN海德漢敞開式光柵尺
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