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詳細(xì)介紹
安捷倫Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證優(yōu)秀的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，超大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設(shè)計，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性：
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體的高壓縮比實現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。
2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和游戲軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，超大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達(dá)到大化，可在泵的操作條件下達(dá)到優(yōu)秀通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應(yīng)用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達(dá)到優(yōu)秀性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
安捷倫Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
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?
| 薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
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納米技術(shù)儀器 |
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性能指標(biāo) ：
| 抽速： | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
| N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
| 最高氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 （空氣溫度 25 °C） | 水冷 （水溫 15 °C/室溫 25 °C） | |
| N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
| He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
| Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
| (*) 前級泵 11.6 m3/h | |||
| 壓縮比與前級耐壓關(guān)系* | |||
| N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
| (*) 前級耐壓定義為，在水冷模式下，當(dāng)渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時的壓力 | |||
| 采用推薦前級泵時的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
| 抽氣口法蘭 | ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 | ||
| 前級管道法蘭 | NW25 或 NW40 | ||
| 推薦的前級泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 潤滑油 | 長期性脂潤滑 | ||
| 冷卻要求 | |||
| 風(fēng)冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h | ||
| 噪音壓力級別 （全速運行時距離 1 m 處） | 43 dB(A) |
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