詳細介紹
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。濟源無塵室凈化工程公司
無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
無塵室按照用途分類:
⑴、工業(yè)無塵室
——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業(yè)。
⑵、生物無塵室
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業(yè)無塵室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)濟源無塵室凈化工程公司
建造選址:
無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節(jié)省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環(huán)境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。
1、廠區(qū)總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。
2、廠區(qū)功能設施一定要配套,必須有保證產品生產所需的生產、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯?zhí)玫容o助設施.輔助設施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產正常進行。
3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。
無塵室構成:
無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空調系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
⑶隔墻板(Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性?。?/span>
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高;
測試目的:
潔凈廠房無塵室測試目的是什么呢?其中很大部分業(yè)主都是根據(jù)凈化工程初的設想來完成測試的指標,當然這是直截了當?shù)哪繕思胺椒?,畢竟我們在建設無塵室的意愿也是如此,要達到我們的空氣潔凈度有需求。在百級無塵室,風速測量的位置可由業(yè)主確定,一般是在濾網表面或是工作高度。但是需注明是濾網風速測量(濾網表面)或是無塵室室內風速測量(工作高度)。潔凈廠房,無塵室,潔凈室--潔凈廠房無塵室測試目的。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風速測量,都是放在無塵室測試的*步。風速測量的目的,是確認濾網送出的氣流滿足設計規(guī)范,其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
百級無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非百級無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。