PI-P-915KWEF壓電六足位移臺

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的全球解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

·         負(fù)載能力高達1500克

·         位移為1納米/0.07微弧度

·         行程范圍達70微米

·         電容式傳感器可實現(xiàn)動態(tài)掃描和精密定位

高動態(tài)參考級六軸定位系統(tǒng)

六自由度并聯(lián)運動設(shè)計使其比串聯(lián)運動系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動態(tài)范圍更大，無移動電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小。

帶高剛性和高諧振頻率的壓電陶瓷促動器直接驅(qū)動器可實現(xiàn)動態(tài)定位。

大功率實時數(shù)字式控制器控制驅(qū)動軸

電容位置傳感器

具有亞納米精度、大帶寬和高穩(wěn)定性的直接、絕dui位置測量

應(yīng)用

轉(zhuǎn)臺軸向振擺、同心度和平穩(wěn)度的動態(tài)優(yōu)化。防振，精調(diào)

Order Information

P-915KWEF Piezo Hexapod for Active and Dynamic Correction of Angular Errors of Rotation Stages

PI-P-915KWEF壓電六足位移臺