基本功能

1，測(cè)試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)
2，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測(cè)
3，實(shí)現(xiàn)反射、投射以及顏色測(cè)量

產(chǎn)品特點(diǎn)

  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫(kù)；
  簡(jiǎn)便、易行的可視化測(cè)試界面，可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù)；
  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測(cè)試；
  支持多功能配件集成以及定制；
  支持不同水平的用戶控制模式；
  支持多功能模擬計(jì)算等等。

系統(tǒng)配置

  型號(hào)：SR100R
  探測(cè)器： 2048像素的CCD線陣列
  光源：高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?br />  光傳送方式：光纖
  臺(tái)架平臺(tái)：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小
  軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
  測(cè)量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
  電腦硬件要求：P3以上、低50 MB的空間
  電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
  保修：一年的整機(jī)及零備件保修

  波長(zhǎng)范圍：250nm到1100 nm
  光斑尺寸：500μm至5mm
  樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸：多可至50毫米厚
  測(cè)量厚度范圍*：2nm～50μm
  測(cè)量時(shí)間：2毫秒
  精度*：優(yōu)于0.5％（通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
  重復(fù)性誤差*：小于1 ?

可選配件項(xiàng)

  用于傳遞和吸收測(cè)量的傳動(dòng)夾具（SR100RT) )
      低可測(cè)量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多個(gè)位置下，多個(gè)通道用于同時(shí)測(cè)量 (SR100xX)
  在超過(guò)200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測(cè)繪（SRM100-200/300）