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1．過(guò)電壓保護(hù)。由于真空斷路器開(kāi)斷較小電流，特別是開(kāi)斷空載變壓器勵(lì)磁電流等小感性電流時(shí)，往往會(huì)出現(xiàn)截流而產(chǎn)生截流過(guò)電壓，并且截流值越大，產(chǎn)生的過(guò)電壓越高。另外，真空斷路器在開(kāi)斷電容器組的容性電流時(shí)，也很難達(dá)到無(wú)電弧重燃，一旦出現(xiàn)重燃，也會(huì)產(chǎn)生重燃過(guò)電壓。對(duì)于截流或者重燃過(guò)電壓，常用的防護(hù)措施如下： 
(1)降低截流值，從根本上降低截流過(guò)電壓。適當(dāng)加大觸頭開(kāi)距，以抑制電弧重燃過(guò)電壓。 
(4)采用氧化鋅避雷器MOA。MOA實(shí)際上是一個(gè)非線性壓敏電阻，在工作電壓下呈極大電阻， 漏電流為微安(μA)級(jí)，不影響電網(wǎng)運(yùn)行。過(guò)電壓時(shí)，其阻值劇降并呈穩(wěn)壓特性，一般可將 過(guò)電壓限制在2倍相電壓以下，且閥片間有一定電容量，對(duì)殘壓的突變有抑制作用。 
2．觸頭超程和觸頭壓力的控制： 
①國(guó)產(chǎn)各種型號(hào)的10kV真空滅弧室的觸頭超程是在3mm左右，開(kāi)距12mm左右。通常國(guó)產(chǎn)10kV真空斷路器用滅弧室的額定接觸壓力，額定電流630～800A者為1100N左右，1250A者為1500～1700N等。 
②真空斷路器在安裝或檢修時(shí)，除了要嚴(yán)格地按照產(chǎn)品安裝說(shuō)明書(shū)中要求調(diào)整測(cè)量觸頭超程。另外，還應(yīng)仔細(xì)檢查觸頭彈簧，不應(yīng)有變形損傷現(xiàn)象。
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3．真空斷路器反彈對(duì)滅弧室的影響。真空斷路器的觸頭多為對(duì)接式結(jié)構(gòu)，在分合操作中可能產(chǎn)生不同程度的反彈現(xiàn)象。不論分閘反彈還是合閘反彈都會(huì)給運(yùn)行帶來(lái)危害。反彈可能導(dǎo)致： 
①觸頭燒損嚴(yán)重，甚至熔焊。 
②波紋管經(jīng)受強(qiáng)迫振動(dòng)可能產(chǎn)生裂紋，使滅弧室漏氣。 
③分合閘時(shí)的沖擊速度及沖擊力較大發(fā)生彈跳都可能產(chǎn)生觸頭和導(dǎo)電桿的變形，甚至產(chǎn)生裂紋。 
④切合電容器組的真空斷路器如發(fā)生合閘彈跳還會(huì)導(dǎo)致電容器的損壞。 
7．分合閘速度的測(cè)量。新斷路器在投運(yùn)前應(yīng)測(cè)量分、合閘速度，因?yàn)樗粌H可以建立原始技術(shù)資料，同時(shí)也可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量上的一些問(wèn)題，以便及時(shí)采取措施。

4．真空滅弧的老煉。真空滅弧室的電氣老煉包括電壓和電流老煉。新的真空滅弧室在產(chǎn)品出廠之前已經(jīng)過(guò)老煉。但真空滅弧室經(jīng)過(guò)一段時(shí)間存放，由于種種原因的影響，它的工作耐壓水平會(huì)下降，開(kāi)關(guān)制造廠在組裝后以及使用部門在安裝時(shí)仍然需要重新進(jìn)行電壓老煉和在規(guī)定條件下進(jìn)行工頻耐壓試驗(yàn)。 
5．真空滅弧室真空度的檢測(cè)。真空滅弧室管內(nèi)的真空度通常是在10-4～10-6Pa，隨著真空滅弧室使用時(shí)間的增長(zhǎng)和開(kāi)斷次數(shù)增多，以及受外界因素的作用，其真空度逐步下降，下降到一定程度將會(huì)影響它的開(kāi)斷能力和耐壓水平。因此，真空斷路器在使用過(guò)程中必須定期檢查滅弧室管內(nèi)的真空度。
6．觸頭磨損值的監(jiān)控。真空滅弧室的觸頭接觸面在經(jīng)過(guò)多次開(kāi)斷電流后會(huì)逐漸被電磨損，觸頭行程增大，也就相當(dāng)波紋管的工作行程增大，波紋管的壽命會(huì)迅速下降，通常允許觸頭電磨損zui大值為3mm左右。當(dāng)累計(jì)磨損值達(dá)到或超過(guò)此值，同時(shí)真空滅弧室的開(kāi)斷性能和導(dǎo)電性能都會(huì)下降，真空滅弧室的使用壽命已到。 
為了能夠較準(zhǔn)確地控制每個(gè)真空滅弧室觸頭的電磨損值，必須從滅弧室開(kāi)始安裝使用時(shí)起，每次預(yù)防性試驗(yàn)或維護(hù)時(shí)，就準(zhǔn)確地測(cè)量開(kāi)距和超程并進(jìn)行比較，當(dāng)觸頭磨損后累計(jì)減小值就是觸頭累計(jì)電磨損值。