4200-BTI-A參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓（I-V）、電容電壓（C-V） 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能高的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200-BTI-A參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)

4200A-SCS 儀器和模塊

型號(hào)	說明	主要測(cè)量	范圍	測(cè)量分辨率
4200-SMU	中等功率源測(cè)量單元	DC I-V 超低頻率 C-V 準(zhǔn)靜態(tài) C-V	±100 mA, ±210 V	0.2 mV, 100 fA
4210-SMU	高功率源測(cè)量單元		±1 A, ±210 V	0.2 mV, 100 fA
4200-PA	遠(yuǎn)程前端放大器模塊		擴(kuò)展所有 SMU 的電流范圍	0.2 mV, 10 aA
			1 kHz - 10 MHz
4210-CVU	電容電壓?jiǎn)卧?/td>	AC 阻抗 C-V, C-f, C-t	±30 V 內(nèi)置DC 偏置裝置(60 V 差分) 使用 SMU 擴(kuò)展直流偏置電壓至	-
			±210V
4200A-CVIV	I-V/C-V 多通道 開關(guān)模塊	DC I-V 和 C-V 自動(dòng)切換	-	-
		脈沖式 I-V SegmentARBR® 多電平脈沖 瞬態(tài)波形捕獲	±40 V (80 V p-p), ±800 mA 200 MSa/s 同時(shí)測(cè)量電流和電壓
4225-PMU	超快速脈沖測(cè)量單元		2048 個(gè)唯YI段	75 nA
			20 ns 脈寬僅輸出時(shí)
			60 ns 脈寬輸出同時(shí)測(cè)流時(shí)
4225-RPM	遠(yuǎn)程前段放大器 / 開關(guān)模塊	DC I-V、C-V、脈沖式 I-V 間自動(dòng)切換	擴(kuò)展 4225-PMU 單元的電流范圍	200 pA
4220-PGU	高壓脈沖發(fā)生器單元	脈沖式電壓源 Segment ARB® 多電平脈沖	±40 V (80 Vp-p) 2048 個(gè)唯YI段	-
接地單元	內(nèi)置低噪聲接地單元	-	三同軸連接 : 2.6 A 接線柱 : 9.5 A

• 4200-BTI-A參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)2614B 2 10A 200V 100fA / 100nV 200 W - US $10,500 US $8,970

  2602B 2 10A 40V 100fA / 100nV 200 W - US $12,100 US $9,440

  2612B 2 10A 200V 100fA / 100nV 200 W - US $12,100 US $9,820

  2635B 1 10A 200V 0.1fA / 100nV 200 W - US $12,400 US $10,200

  2634B 2 10A 200V 1fA / 100nV 200 W - US $16,500 US $11,200

  2636B 2 10A 200V 0.1fA / 100nV 200 W - US $18,800

  2606B 4 3A 20V 100fA / 100nV 20 W - US $24,900

  2651A 1 50A 40V 100fA / 100nV 2000 W - US $21,500

  2657A 1 120mA 3000V 1fA / 100nV 180 W - US $26,200

  2510 1 5A 10V 50 W - - US $7,080