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深圳市心怡創(chuàng)科技有限公司 |
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二手SEM掃描電子顯微鏡規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 | |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） | ||
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
| 最大樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
| 樣品臺(tái) | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用） | |
| 最大樣品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
| 探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 | |
| 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 雙圖像顯示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕顯示（640 × 480像素） | ||
| 信號(hào)混合模式 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
| 渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
1.成像功能
SU3500日立掃描電子顯微鏡所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí)，SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí)，BSE圖像可達(dá)10nm。開發(fā)的自動(dòng)多級(jí)電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
通過SU3500的開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法，現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動(dòng)聚焦控制(AFC)和自動(dòng)亮度及對(duì)比度控制(ABCC)的增強(qiáng)，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時(shí)間(TAT)
2.低真空功能操作的優(yōu)異性
新設(shè)計(jì)的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
SU3500日立掃描電子顯微鏡具有一個(gè)可變壓力模式，允許對(duì)處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結(jié)果，所以不需要進(jìn)行傳統(tǒng)的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。
新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測(cè)器得以進(jìn)一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過同時(shí)觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測(cè)器得到的組成圖像，使得在多種應(yīng)用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現(xiàn)了SU3500的這項(xiàng)功能。
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