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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,航天 |
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HET-1型多功能二維材料轉(zhuǎn)移平臺
產(chǎn)品介紹
HET-1型二維轉(zhuǎn)移平臺適用于石墨烯、各類過渡金屬化合物、黑磷等多種單層及其多層二維材料的精確定位轉(zhuǎn)移及范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)的準(zhǔn)確制備,實現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的精確可視化操作。本套轉(zhuǎn)移平臺由轉(zhuǎn)移臺模塊、樣品臺模塊、顯微觀測模塊結(jié)構(gòu)、溫控模塊等組成。該平臺是研究低維材料性質(zhì)、范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)構(gòu)中低溫物理特性、低維材料中表面界面物理性質(zhì)的有力工具。
產(chǎn)品特點
轉(zhuǎn)移臺模塊:包含XYZ三維移動臺+旋轉(zhuǎn)臺+俯仰臺;XY向:行程±6.5 mm,精度10 μm;Z向:行程±5 mm,精度0.5 μm;旋轉(zhuǎn)臺:粗調(diào)360°,細(xì)調(diào)5°,精度1°;俯仰臺:范圍±20°,最小讀數(shù)5′
樣品臺模塊:XYZ三維移動臺+旋轉(zhuǎn)臺+帶真空吸附的加熱臺;轉(zhuǎn)移臺:精度低至10 μm;旋轉(zhuǎn)臺:可360°旋轉(zhuǎn),精度1°;加熱臺:室溫 ~ 250 ℃
顯微觀測模塊:金相顯微鏡:配置10X、20X、50X超長焦物鏡;配置CMOS成像系統(tǒng)及相應(yīng)軟件,綜合放大倍數(shù)為576~2880倍;預(yù)留鉸鏈?zhǔn)诫p目觀察筒,支持配置10X目鏡;配置濾波片,支持調(diào)光;配備粗微調(diào)焦裝置,微調(diào)精度2 μm
溫控模塊:高精度PID程序控溫,溫度可達(dá)250 ℃,精度0.1 ℃,升溫速率2 ℃/s (at 150 ℃)
技術(shù)說明
典型應(yīng)用:基于低維材料及其異質(zhì)結(jié)的晶體管、光電探測器、光伏器件等微納電子與光電子器件
臺體設(shè)計:采用進(jìn)口精密機(jī)械臺體,結(jié)構(gòu)緊湊,支持放置于手套箱中
防震設(shè)計:底座配備蜂窩內(nèi)核三層夾心防震光學(xué)平臺及隔振阻尼墊
結(jié)構(gòu)設(shè)計:轉(zhuǎn)移臺及樣品臺支持面內(nèi)旋轉(zhuǎn),方便樣品進(jìn)行對準(zhǔn)轉(zhuǎn)移
真空吸附:低噪泵體流量 30 L/min,保證樣品吸附
選配功能:樣品臺可集成Z軸電動控制模塊,支持集成無線控制,手套箱外用按鍵調(diào)控樣品臺升降
應(yīng)用案例:
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