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TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設(shè)計(jì)師的手選解決方案。TMC現(xiàn)在提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器，它們有不同的承重能力、阻尼水平和調(diào)平版本可供選擇，適合各種應(yīng)用。

這些隔振器是OEM應(yīng)用的理想選擇，采用模塊化、可互換和可升級(jí)的設(shè)計(jì)。此外，為了確保您定的版本能夠滿足您的穩(wěn)定時(shí)間和隔振要求，TMC工程師可以使用我們的“移動(dòng)工作臺(tái)應(yīng)用程序模型"為您的配置進(jìn)行建模。

超高阻尼空氣隔振器適用大型設(shè)備LCD光刻機(jī)

UltraDamp™隔振器

TMC現(xiàn)在提供更主動(dòng)的阻尼UltraDamp™。適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平，可確?？諝飧粽衿鞯墓舱耦l率不會(huì)超過(guò)3-5 dB。適用于LCD、PVC檢測(cè)、光刻機(jī)以及其他具有高力電動(dòng)工作臺(tái)的儀器。

優(yōu)點(diǎn)：

結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢(shì)，并具有極其主動(dòng)的阻尼作用

非常適合具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷，可提供所需的隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)

更快的工具吞吐量和更高的產(chǎn)量

從4-5 Hz開(kāi)始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（3-5 dB） 模塊化設(shè)計(jì)。可升級(jí)到Electro-Damp®主動(dòng)消振

性能：

比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平

超高阻尼空氣隔振器適用大型設(shè)備LCD光刻機(jī)

應(yīng)用照片：