離子蝕刻探針-終點檢測儀
應用:
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點:
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊
應用:
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點:
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊