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        1. 北京漢默科技有限公司
          中級會(huì)員 | 第10年

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          MCV-美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
          • MCV-美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
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          貨物所在地:北京北京市

          更新時(shí)間:2024-07-13 21:00:05

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          ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

          美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于需要有截止功能應(yīng)用的場合,如真空鍍膜及磁控濺射工藝,這個(gè)閥是常閉閥,擁有極低的泄漏率。

          一、美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

          1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

          精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值??焖?、可重復(fù)、穩(wěn)定!

          擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度,艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中,為快的質(zhì)量流量控制器!采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合,使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過您眨一下眼。

          2、操作便捷

          ?     50-100毫秒控制響應(yīng)

          ?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

          ?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

          ?     同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

          ?     瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱:1秒內(nèi)即可開始流量控制

          二、美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

          MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

          控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

          MCR 大流量系列

          精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

          MCW / MCRW 低壓損系列

          大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇;大量程:0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

          MCS / MCRS 耐腐蝕系列

          所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

          MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

          可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,專門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列

          MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

          *雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

          三、美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)

          ?     后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

          ?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

          ?     CSA認(rèn)證12區(qū) / ATEX認(rèn)證12區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境

          ?     9針或15D-Sub等連接接口可選

          ?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

          ?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

          四、美國ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

          指標(biāo)

          質(zhì)量流量控制器

          量程

          0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

          精度

          ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

          重復(fù)性

          ±0.2%

          量程比

          200:1

          響應(yīng)時(shí)間

          100ms

          標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

          25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

          溫度范圍

          -10~50

          零點(diǎn)漂移

          0.02%

          量程漂移

          0.02%

          濕度范圍

          0-*

          測量流量范圍

          128%(過流率)

          大耐壓

          145psi

          輸出信號(hào)(數(shù)字)

          質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

          數(shù)字信號(hào)可選

          RS485,Modbus,Profibus

          輸出信號(hào)(模擬)

          質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

          模擬信號(hào)可選

          0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

          電氣連接

          8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定)

          供電電壓

          7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC)

          供電電流

          0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A)

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