ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器采用全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)及密封的316L不銹鋼傳感器,可根據(jù)不同應(yīng)用需求選擇相應(yīng)的彈性密封材料, 如:FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術(shù)能以 驚人的速度測(cè)量氣體質(zhì)量流量,且具備一系列標(biāo)準(zhǔn)性能,如:200:1量程可調(diào)比、內(nèi)置30種氣體可選、多功能數(shù)字顯示屏及有條件的終身質(zhì)保等。
一、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
操作簡(jiǎn)單
Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器操作極其簡(jiǎn)單,用戶可通過(guò)多功能數(shù)字顯示屏調(diào)節(jié)參數(shù),無(wú)需連接電腦或其它任何復(fù)雜的編程軟件。
精確控制
Alicat 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號(hào)通過(guò)增加高精選配項(xiàng)可達(dá)±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價(jià)比
Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)的成本,且相比于同類產(chǎn)品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進(jìn)入到系統(tǒng)中,而不是停留在測(cè)量&控制設(shè)備中。除質(zhì)量流量外,Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器還可同時(shí)測(cè)量體積流量、壓力和溫度,您無(wú)需另外采購(gòu)和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量,是監(jiān)控整個(gè)應(yīng)用過(guò)程及減少氣體浪費(fèi)的有效的方法。MCS系列的模塊化設(shè)計(jì)使其成為真空應(yīng)用的佳選擇。
性能
MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測(cè)量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數(shù)字信號(hào)輸出,還配有多種模擬信號(hào)輸出。MS系列質(zhì)量流量計(jì)亦有便攜式型號(hào)(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標(biāo)準(zhǔn)流量校準(zhǔn)設(shè)備。
反應(yīng)靈敏
與相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)型M/MC系列相同,MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測(cè)量響應(yīng)小于10毫秒、控制響應(yīng)為100毫秒。
高重復(fù)性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器幾乎沒(méi)有可移動(dòng)部件,所有零件都被內(nèi)置固定,腔體內(nèi)不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復(fù)性。所有Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性可達(dá)±0.2% F.S。
值得信賴
現(xiàn)有超過(guò)90000臺(tái)Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中,質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體、燃料電池、如:科學(xué)研究、泄漏測(cè)試、環(huán)境監(jiān)測(cè)、 真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計(jì)量以及過(guò)程工藝氣體測(cè)量&控制等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
二、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)性能
- 多功能數(shù)字顯示屏
- 顯示多種測(cè)量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
- 低壓損
- 無(wú)需預(yù)熱
- 316L不銹鋼本體&傳感器
- FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
- 可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
- 內(nèi)置130種常用氣體可選 ,開放COMPOSER? — 氣體編輯器,允許用戶自定義混合氣體組分
- 200:1 量程可調(diào)比
三、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128%(過(guò)流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(hào)(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A) |