ALICAT進(jìn)口質(zhì)量流量控制器采用層流差壓原理,可本地顯示溫度,絕壓,質(zhì)量流量和體積流量,美國(guó)ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質(zhì)量流量控制器耐壓1MPa,低壓差條件下亦可使用。Z小量程可控制0.5SCCM,ALICAT內(nèi)置130種氣體,大大節(jié)約用戶成本。反應(yīng)時(shí)間快。
一、ALICAT進(jìn)口質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值??焖?、可重復(fù)、穩(wěn)定!
擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中,為快的質(zhì)量流量控制器!采用艾里卡特®的層流壓差流量測(cè)量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合,使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過(guò)您眨一下眼。
2、操作便捷
50-100毫秒控制響應(yīng)
允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性
定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力
瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱:1秒內(nèi)即可開(kāi)始流量控制
二、ALICAT進(jìn)口質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準(zhǔn)系列
控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為*的無(wú)摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇;大量程:0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列
可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,專門用于真空應(yīng)用??啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
*雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
三、ALICAT常用選配項(xiàng)
? 后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制
? 批量控制模式,依靠快速的閥門響應(yīng)來(lái)分配流量,包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認(rèn)證1類2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合
四、微小流量質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128%(過(guò)流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(hào)(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A) |