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          Q240微波等離子去膠機
          • Q240微波等離子去膠機
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          貨物所在地:國外

          地: 德國

          更新時間:2024-07-17 21:00:06

          瀏覽次數:399

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          ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網 上看到的信息,謝謝?。?/p>

          Q240微波等離子去膠機:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng)。
          典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

          微波等離子清洗去膠技術

          Q240微波等離子去膠機概述:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng)。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

          Q240微波等離子去膠機工藝參數:

          • 材質:石英玻璃
          • 容積:21公升
          • 腔體尺寸:直徑240mm,深度460mm
          • 腔體后部:鋁
          • 腔門:鋁質材料制作,抽拉式支撐架跟前門相連,便于手動放片;
          • 氣體分布:前門擴散
          • 觀察視窗:防紫外及微波
          • 支撐架:鋁質材料, 
          • 真空連接:DN40 ISO-KF
          • 壓力控制:Pirani,1-100Pa
          • 真空泵:推薦35m3/h
          • 真空閥:電子氣動閥,DN40 ISO-KF
          • 真空密封:硅樹脂
          • 氣體供應:
          • 氣體通道:3路數字MFC,裝有電磁閥,1000/500/200sccm(N2校準),1/4" Swagelok接頭
          • 卸壓:電磁閥,1/4" Swagelok接頭
          • 功率:2.45GHz,50-1200W連續(xù)可調
          • 耦合:微波天線,鋁質諧振器,腔體內無電極

          系統(tǒng)控制:

          • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
          • 10.4"觸摸屏、圖形用戶界面
          • Windows Office兼容
          • 存儲處理數據和錯誤信息,處理數據輸出
          • 工藝參數圖形曲線的 監(jiān)測
          • 自動或手動操作

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