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微波等離子清洗去膠

AL18微波等離子去膠機(jī)概述：AL18等離子系統(tǒng)適用于小批量生產(chǎn)和研發(fā)的*設(shè)備。并且，此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設(shè)備，可選配旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。

AL18微波等離子去膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

• 腔體:鋁
• 容積:18公升
• 尺寸:寬度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
• 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈?zhǔn)介T
• 微波源：2.45GHz，可調(diào)50-600W
• 氣體進(jìn)氣:1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
• 真空計: Pirani,1-1000Pa
• 真空系統(tǒng)：DN 25 ISO-KF
• 真空閥：電動氣動閥

系統(tǒng)控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
• 7"觸摸屏、圖形用戶界面
• Windows Office兼容
• 存儲處理數(shù)據(jù)和錯誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
• 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
• 自動或手動操作

選配：

• 真空泵 ： 雙級真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
• 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
• 旋轉(zhuǎn)臺：鋁，直徑200mm,速度可調(diào)
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體