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        1. 北京長恒榮創(chuàng)科技有限公司
          中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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          C-25型單面光刻機(jī) 高精度
          • C-25型單面光刻機(jī) 高精度
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          貨物所在地:北京北京市

          更新時(shí)間:2024-11-05 10:31:45

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          C-25型單面光刻機(jī) 高精度主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)優(yōu)良,找平力小、使本機(jī)不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

          C-25型單面光刻機(jī) 高精度

          C-25型單面光刻機(jī) 高精度




          主要用途


          主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。


          由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)優(yōu)良,找平力小、使本機(jī)不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。


          主要構(gòu)成


          主要由高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、采用高均勻性的多點(diǎn)光源、 蠅眼、LED、曝光頭,PLC電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式無油真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)和附件箱等組成。


          主要性能指標(biāo)


          1有三種版夾盤,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"方形掩板。對(duì)版的厚度無特殊要求(1~4mm皆可)。如果不同于上述尺寸的版,真空無法吸附,但可采用夾盤上的螺孔,和特殊的壓片固定版。


          2設(shè)有相對(duì)應(yīng)的真空吸附基片的“承片臺(tái)"三個(gè),分別適用于φ4,φ3,φ2片。對(duì)于非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片,只要堵塞相應(yīng)的小孔,同樣能真空吸附。


          3照明


          光源:采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈。


          照明范圍:≤110mm


          不均勻性:ф100mm內(nèi)±3%


          可使用的波長:g線、h線、I線的組合。


          成象面照明:光照度2~20毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時(shí),照明度調(diào)在4mw/cm2)。


          4采用進(jìn)口時(shí)間繼電器(該繼電器可從0.1秒~999.9秒預(yù)設(shè))控制真空快門,動(dòng)作準(zhǔn)確可靠。


          5該機(jī)為接觸式光刻機(jī),但可實(shí)現(xiàn):


          a. 硬接觸曝光:用管道真空來獲得高真空接觸,真空≤-0.05MPα。


          b. 軟接觸曝光:接觸壓力可將真空降到-0.02MPα~-0.05MPα之間。


          c. 微力接觸曝光:小于軟接觸,真空≥-0.02MPα。


          6分辯率估計(jì)


          如果用戶的“版"、“片"精度符合國家規(guī)定,環(huán)境、溫度、濕度、塵埃得到嚴(yán)格控制,采用正性光刻膠,且勻膠厚度得到嚴(yán)格控制。加之前后工藝優(yōu)良的話,硬接觸曝光的最小分辨度可達(dá)1μm以上。如果作為批量生產(chǎn),建議使用在1.5μm以上。


          7對(duì)準(zhǔn)


          對(duì)準(zhǔn)顯微鏡:


            1、由兩支變焦顯微鏡,兩支CCD攝像頭,一臺(tái)液晶顯示器和X.Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成。


            2、該顯微鏡雙物鏡距離可調(diào)。


            3、該顯微鏡既可通過顯示屏同時(shí)看見兩物鏡的象,也可轉(zhuǎn)換成只看左物鏡或右物鏡的象。


            4、總放大倍數(shù):0.7×42~4.5×42=30X~189X。


          C-25型單面光刻機(jī) 高精度



          對(duì)準(zhǔn)臺(tái):(采用片動(dòng),版不動(dòng)方式)


          X、Y調(diào)整:硅片X、Y的對(duì)準(zhǔn)采用切斯曼機(jī)構(gòu)或微分頭調(diào)節(jié)。


          粗調(diào)≥±3mm


          細(xì)調(diào)≤±0.3mm。


          Q調(diào)整:轉(zhuǎn)角≤3°(另設(shè)粗調(diào)機(jī)構(gòu),可進(jìn)行±15°粗調(diào))


          對(duì)準(zhǔn)間隙(分離間隙)0∽50μm任意可調(diào)。


          整個(gè)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)相對(duì)于顯微鏡可作±15mm掃描運(yùn)動(dòng)。


          “接觸、分離"20μm情況下,片相對(duì)于版的“漂移量",可調(diào)到≤0.5μm。


          8設(shè)備所需能源


          主機(jī)電源: 220V±10%   50HZ


          潔凈空氣≥0.4mpα


          真空:-0.07~-0.08MPα。


          9尺寸和重量


          尺寸:機(jī)體900(長)×674(寬)×882(高)。


          重量:150Kg。


          機(jī)體放在專用工作臺(tái)上。


          工作臺(tái)630(長)×654(寬)×645(高)。


          高度可調(diào)范圍0~30mm。


          重量180Kg(工作臺(tái)后側(cè)裝有電氣部分)。


          總重量≤330Kg


          10光刻機(jī)的組成


          l 主機(jī)


          主機(jī)(含機(jī)體和工作臺(tái))


          對(duì)準(zhǔn)采用CCD雙視場(chǎng)系統(tǒng)


          蠅眼光源曝光頭


          l 附件


          主機(jī)附件


          3"□型掩版夾盤


          4"□型掩版夾盤(出廠時(shí)安裝到機(jī)器上)


          5"□型掩版夾盤。


          用于φ2"基片的真空夾持承片臺(tái)。


          用于φ3"基片的真空夾持承片臺(tái)(出廠時(shí)安裝到機(jī)器上)。


          用于φ4"基片的真空夾持承片臺(tái)。



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