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          0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測
          • 0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測
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          貨物所在地:遼寧沈陽市

          更新時間:2024-12-09 11:20:08

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          0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測
          重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
          雙通道: 0.1μm 0.3μm
          額定流量:2.83umin
          通過實現(xiàn)超小型化設(shè)計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設(shè)備成為可
          0.1 um測量
          4.3英寸彩色液晶
          標配RS-485,Ethernet,USB
          小型化!重量大幅度輕量化
          以往的尺寸很難嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中

          0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測

          應(yīng)用范圍

          作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中

          潔凈室的清潔度管理

          高清潔度區(qū)域的管理


          重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)

          雙通道: 0.1μm 0.3μm

          額定流量:2.83umin

          通過實現(xiàn)超小型化設(shè)計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設(shè)備成為可

          0.1 um測量

          4.3英寸彩色液晶

          標配RS-485,Ethernet,USB

          小型化!重量大幅度輕量化

          以往的尺寸很難嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中,

          本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>


          0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測

             名

          塵埃粒子計數(shù)器

             號

          3950-00

          粒子測量

          測試方法

          光散射法

          粒徑通道

          2粒徑(0.1、0.3μm)

          額定流量

          0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)

          測量時間

          6秒~99分59秒(1次測量時間)

          間隔時間

          6秒~99分59秒(測量周期)

          采樣次數(shù)

          1~999次 或 連續(xù)測試

          地點設(shè)定

          99個地點

          測量方式

          重復(fù)、單次、連續(xù)、計算

          測量數(shù)據(jù)顯示時間

          1~10秒

          測量數(shù)據(jù)顯示

          累計值∑ 差分值△及柱形圖

          最大可測濃度

          10,000,000個/m3

          計數(shù)效率

          50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)
          100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
          (符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

          計 數(shù)

          <1個/35min

          粒徑分辨率

          15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
          (符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

             源

          內(nèi)置泵

          顯示器

          4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

          通迅功能

             體

          USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
          Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)

          數(shù)據(jù)存儲

             體

          內(nèi)存

          數(shù)量、格式

          最大10,000個、CSV格式

          顯示語言

          英文、日語

            源

          AC100~240V

          使用環(huán)境

             體

          15~35℃、0~85%RH (無結(jié)露)

          外形尺寸

          W150 X H163 X D228 mm

             量

          3.4kg

          0.1μm粒子計數(shù)器 半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈室檢測

















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