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海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀
PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量，通過(guò)高級(jí)過(guò)程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。海洋光學(xué)特點(diǎn)
海洋光學(xué)Recipe編輯器Recipe編輯器有助于簡(jiǎn)單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對(duì)一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測(cè)量、等離子體蝕刻監(jiān)測(cè)、表面潔度監(jiān)測(cè)、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測(cè)等，能夠快速簡(jiǎn)單的構(gòu)建模塊過(guò)程控制。 多種工具用于等離子體診斷隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能?？蛇x的波長(zhǎng)發(fā)生器（可以單獨(dú)購(gòu)買）用于類型確認(rèn)，而波長(zhǎng)編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過(guò)程控制信息。 PlasCalc 配置說(shuō)明
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PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀優(yōu)點(diǎn)是軟件分析功能強(qiáng)大,光譜范圍寬,缺點(diǎn)是分辨率低.
