可變形反射鏡介紹

通過(guò)我們與Boston Micromachines Corporation（BMC）的合作伙伴關(guān)系，Thorlabs很高興能夠?yàn)?光學(xué)控制提供BMC的Mini-DM和Muti-DM型微機(jī)械可變形反射鏡系統(tǒng)。為了幫助安裝和設(shè)置，每個(gè)包裝都包括、驅(qū)動(dòng)器和控制軟件。這些反射鏡能夠改變形狀，以校正高度畸變的入射波前（參考像差類(lèi)型標(biāo)簽了解更多關(guān)于DM可校正的像差）。由于多功能性、技術(shù)的成熟性及可提供的高分辨率波前校正，微機(jī)電（MEMS）是目前使用zui廣泛的波前整形技術(shù)。

這些采用多晶硅表面微加工制造方法制造的常用和通用，在易于使用的封裝中提供精細(xì)的像差補(bǔ)償。該反射鏡包括由32個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器（即對(duì)于Mini-DM型，包含四個(gè)非活動(dòng)角落驅(qū)動(dòng)器的6×6驅(qū)動(dòng)器陣列），或140個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器（即Multi-DM型，包含四個(gè)非活動(dòng)角落驅(qū)動(dòng)器的12×12驅(qū)動(dòng)器陣列）進(jìn)行變形的反射鏡襯底，任何一個(gè)驅(qū)動(dòng)器都可以單獨(dú)控制。這些驅(qū)動(dòng)器在緊湊的區(qū)域內(nèi)提供了3.5微米的行程。此外，包含1020個(gè)驅(qū)動(dòng)器的Kilo-DM（即包含四個(gè)非活動(dòng)角落驅(qū)動(dòng)器的32×32驅(qū)動(dòng)器陣列）是由Boston Micromachines Corporation提供的。Kilo-DM驅(qū)動(dòng)器提供1.5微米的行程。與壓電反射鏡不同，BMC反射鏡使用的靜電驅(qū)動(dòng)確保了無(wú)滯后的變形。

Mini - DM、Multi-DM和Kilo- DM提供鍍金膜或鋁膜的反射鏡。所有三種型號(hào)的產(chǎn)品系列在反射鏡前都有一個(gè)6度楔形保護(hù)窗，帶有400-1100納米范圍內(nèi)的寬帶增透膜（請(qǐng)參閱圖標(biāo)簽獲取鍍膜曲線的信息。如果您對(duì)不同鍍膜范圍感興趣，請(qǐng)）。雖然在天文上的應(yīng)用是*的，但這些微型精密波前控制裝置還可以幫助研究人員在光束成形、顯微鏡、激光通信和視網(wǎng)膜成像等方面取得突破。

為您的應(yīng)用選擇DM：
理想情況下，需要假定具有與像差輪廓共軛的表面形狀以補(bǔ)償像差。然而，可以通過(guò)特定的校正的波前的實(shí)際范圍受到驅(qū)動(dòng)器的行程和分辨率、驅(qū)動(dòng)器的數(shù)量和分布，以及用于決定DM合適的控制信號(hào)的型號(hào)的限制；前兩者是本身的物理限制，而zui后一個(gè)是使用的控制軟件的限制。

驅(qū)動(dòng)器的行程是DM驅(qū)動(dòng)器的動(dòng)態(tài)范圍（即zui大位移）的另一種表述，通常以微米來(lái)衡量。不恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)器行程會(huì)導(dǎo)致性能較差，并阻礙控制回路的匯合。

驅(qū)動(dòng)器的數(shù)量決定了發(fā)射鏡可以校正的自由度數(shù)量。盡管已提出許多不同的驅(qū)動(dòng)器陣列，包括方形、三角形和六角形，但大多數(shù)都采用了方形驅(qū)動(dòng)器陣列，可以簡(jiǎn)便地在直角坐標(biāo)系上定位，并且輕松地繪制位于波前傳感器上的方形探測(cè)器陣列。為了在圓形孔徑上適應(yīng)方形陣列，角落驅(qū)動(dòng)器通常是非活動(dòng)的。

自適應(yīng)光學(xué)：

是構(gòu)成自適應(yīng)光學(xué)（AO）系統(tǒng)的三種主要組件之一。這種系統(tǒng)用于校正（整形）光束的波前。與波前傳感器和控制軟件一起，DM形成一個(gè)能夠?qū)崟r(shí)主動(dòng)校正相位畸變的閉環(huán)系統(tǒng)（要了解更多信息，請(qǐng)點(diǎn)擊自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)教程標(biāo)簽）。

傳統(tǒng)上，這些系統(tǒng)用于天文學(xué)和美國(guó)的國(guó)防領(lǐng)域，但它們對(duì)于任何能夠從光的相位控制中受益的領(lǐng)域來(lái)說(shuō)都是一種偉大的補(bǔ)充。今天，自適應(yīng)光學(xué)元件的應(yīng)用已經(jīng)滲透到眾多領(lǐng)域，包括飛秒激光脈沖整形、顯微鏡、激光通信、視力矯正和視網(wǎng)膜成像等。