四探針電阻率分析儀
產品編號:TC-000289
QT-RTS-4型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
四探針電阻率分析儀 儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
QT-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析
技術參數:
測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展);
電導率:0.005~1000 s/cm;
電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調
數字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本指標 間距:1±0.01mm;
針間緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口
標準使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強光直射;
產品名稱:矢量網絡分析儀 產品型號: TD3618C |
矢量網絡分析儀 型號: TD3618C
TD3618C/TD3616C矢量網絡分析儀由新技術的高精度合成信號源、窄帶接收機、高速嵌入式計算機和Windows操作系統(tǒng)組成.它具有測量精度高、測量速度快和測量適應能力強等特點,Windows操作界面更具人性化,可適用于射頻元件及設備的大批量生產和制造領域的測量應用,具有高的性價比。
TD3618C/TD3616C矢量網絡分析儀具有強大的測量功能,主要應用于無線通信、廣播電視、教育、科研等領域, 可對放大器、同軸電纜、功分器、合路器、天線、耦合器、濾波器、隔離器、分支分配器、晶體、聲表等RF器件S參數的幅頻特性、反射特性、相位特牲、延遲特性等進行*測量. 例如能對RF器件的插入損耗、衰減、隔離、增益、頻響、帶內平坦度、相位、群延時、回波損耗、SWR、特性阻抗、3dB帶寬、帶外抑制、阻帶帶寬、矩形系數等指標進行快速準確測量。
★ 系統(tǒng)阻抗:50Ω或75Ω,75Ω阻抗適合CATV用戶使用。
★ 儀器使用界面:中文或英文,滿足不同用戶需求。
★ 雙端口測試??赏瑫r測試兩端口器件的4個S參數(S11、S21、S12、S22 ),大提高測試效率。
★ Windows操作界面,10.4英寸的TFT彩色液晶顯示屏,觸摸屏,顯示清晰,操作簡單快捷。
★ 4個獨立的測量通道,每個通道可獨立設置源參數(如頻率、功率等),滿足用戶對同一器件的不同條件下的測試。
★ 具有存貯/調用功能,方便用戶將測量結果保存在硬盤或U盤上。
★ 可以用宏指令進行VBA編程,進行自動控制測試。
★ GPIB接口,方便用戶組成自動測試系統(tǒng)。
★ LAN接口,方便用戶連接局域網,無線網卡,從而方便用戶進行遠程數據傳輸。
LAN接口還和GPIB接口一樣,方便用戶組成自動測試系統(tǒng)。
★ 數據格式:對數、相位、群延遲、史密斯圓圖、坐標、線性、SWR、實部、虛部、擴展相位、正相位等。
★ 多種掃描模式:線性掃描、對數掃描、分段掃描、功率掃描。
★ 觸發(fā)方式:連續(xù)、單次、保持。
★ 強大的分析功能
◆限測試:具有限測試、波動限測試、帶寬限測試等測試功能,方便用戶進行產品合格、不合格判斷,從而大大提高測試效率。
◆頻標:多可同時顯示9個頻標。不同曲線上的頻標可獨立操作。
◆頻標搜索功能:大值、小值、峰值、頻標自動跟蹤、帶寬搜索、凹峰搜索等。
★ *的校準方式
增強型響應校準:可以消除方向性、串擾、源匹配、反射跟蹤、傳輸跟蹤誤差,提高測量精度。
端口擴展:在某些場合下,用戶不能在測試端面進行校準,端口擴展就可以滿足用戶補償測試端面與被測件之間的相移或延遲,提高測試精度。
★ 眾多外部接口
具有USB、LAN、RS232、鍵盤PS/2接口、鼠標PS/2接口、外部VGA顯示接口、GPIB接口(選件)。
頻率范圍:300kHz ~ 3GHz(TD3618C); 300kHz ~ 1.5GHz(TD3616C)
頻率準確度:±5ppm (23℃±5℃)
頻率分辨率:1Hz
輸出電平:-45 ~ +10dBm
電平準確度:±0.8 (0dBm,50MHz)
電平分辨率:0.05dB
相位噪聲:-67dBc/Hz@10kHz
諧波及非諧波:<-30dBc(0dBm)
中頻帶寬10Hz~30kHz
方向性:44dB
動態(tài)范圍:110dB
測量分辨率:0.01dB
大輸入電平:+10dBm
輸入損壞電平:+20dBm
相位分辨率:0.01°
相位穩(wěn)定度:0.1°
對數刻度:0.01dB/DIV~50dB/DIV
分辨率:0.01dB
掃描時間:25ms(201點,中頻帶寬30KHz)
顯示器:10.4英寸彩色TFT液晶顯示屏
測量方式:雙端口測量
測量通道:4通道
測量格式:對數、線性、相位、群延時、駐波比、史密斯圓圖、圓圖、實部、虛部、阻抗
掃描方式:線性、點頻、對數、功率
觸發(fā)方式:連續(xù)、單次、保持
輸入輸出接頭N型陰頭
通訊接口USB,LAN, RS232,GPIB,鍵盤接口,VGA顯示接口
電源AC 150V~230V/50~60Hz; 350VA
重量約15Kg
儀器尺寸426×395×225mm(寬X深X高)
工作環(huán)境溫度5~40℃