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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
-135℃水汽捕集泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa）。
-135℃水汽捕集泵在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.
本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機(jī)、自動復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)保混合型制冷劑生產(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過*水平。
-135℃水汽捕集泵主要的性能特點(diǎn)
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，zui低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；
5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?
6、完善的自動化控制；
7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示；
8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設(shè)定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報(bào)警；
12、壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù)；
13、電源斷電、缺相報(bào)警；
14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；
15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
| 型號 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
| 壓縮機(jī)功率（KW） | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
| 工作溫度（℃） | -120℃至-150℃ | |||||
| 抽氣速度（l/s） | 30600 | 51000 | 73,000 | 101,000 | 153,000 | 250,000 |
| 制冷量（W） | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
| 冷凝管表面積（m2） | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
| 冷凝管長度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
| 預(yù)冷時(shí)間（min） | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
| 降溫時(shí)間（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
| 除霜時(shí)間（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 再降溫時(shí)間（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
| 適用油擴(kuò)散泵徑（mm） | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 雙路輸出 | 雙路輸出 |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷、水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | 水冷（t≤30℃） | |
| 適用腔體直徑（mm） | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 | |
冷凝盤管的制作
根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。
輸入、輸出的接口
冷凝盤管從真空腔內(nèi)穿過腔壁時(shí)，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會有較大損失，腔壁結(jié)霜嚴(yán)重。這就需要一個(gè)長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決，它可以做成活口（見圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。
