四探針測試儀   測試儀             型號：GSZ-SDY-4

四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試用儀器.
    儀器以大規(guī)模集成電路為核心件,采用平面輕觸式開關(guān)控制,及各種作狀態(tài)LED示.應(yīng)用微計算機(jī)，利用GSZ-HQ-710E型測量數(shù)據(jù)處理器，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速，并能實(shí)現(xiàn)晶片厚度自行修正，打印出預(yù)置和測量、計算數(shù)據(jù)。整套儀器體積小、耗低、測量度、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
    四探針測試儀 本儀器可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究單位對材料（棒材、片材）電阻率及擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要。

標(biāo)
1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm（可擴(kuò)展）;
　　　　　　方塊電阻:0.01-2000Ω/口（可擴(kuò)展）;
2 可測晶片直徑（zui大）:100mm
　　　　　　　　　　  200mm
3 恒源:電量程分為0.1、1、10、100（mA）四檔,各檔電連續(xù)可調(diào).誤差<±0.3%
4 數(shù)字電壓表:
量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、小數(shù)點(diǎn)、量程自動顯示。
輸入阻抗>1000MΩ; 度:±0.1%.
5 zui大電阻測量誤差（按JJG508-87行）:0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探針探頭:
間距:1±0.01mm;針間緣電阻≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）
7 整機(jī)不確定度:（用硅標(biāo)樣片測試）≤5% （0.01-180Ω.cm）
8 外形尺寸:電氣主機(jī):360mm×320mm×100mm；數(shù)據(jù)處理器：300mm×210mm×105mm
9 數(shù)據(jù)處理器能:
A 鍵盤控制測量取數(shù),自動行電換向,并行正反向電下的電阻率（或方塊電阻）測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動行厚度修正;
B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理,運(yùn)算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;
C 鍵盤控制打印測量數(shù)據(jù).測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。
10 儀器重量：電氣主機(jī)：約4kg；測試臺：約10kg，數(shù)據(jù)處理器：約2.5kg
11 測試環(huán)境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無頻干擾；無強(qiáng)光照射。

2.

產(chǎn)品名稱：水質(zhì)監(jiān)測儀/多參數(shù)水質(zhì)分析儀/多參數(shù)水質(zhì)檢測儀/水質(zhì)測定儀（氨氮，總氮，總磷，磷酸鹽） 產(chǎn)品型號：BSH/CM-05