目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>混合管式/箱式爐>> OTF-1200X-5S小型大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S
OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其zui高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐zui多可對4英寸的晶片進行退火。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
|
功率 | 3KW |
電壓 | 220VAC 50/60Hz |
zui高工作溫度 | 1000℃(<1小時) |
連續(xù)工作溫度 | 900℃ |
zui大加熱速率 | 20℃/min |
加熱區(qū) |
|
溫控系統(tǒng) |
|
歐陸儀表(可選) |
|
控溫精度 | +/- 1°C |
爐管 |
|
真空密封法蘭 |
|
| |
真空壓力表 |
|
鎧裝熱電偶(可選) |
|
尺寸 |
|
凈重 | 48 Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 |
|
應(yīng)用注意事項 |
|
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)