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主要特點

• 真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
• 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
• 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
• 設有12組程序，每組包含6個運行階段。
• 電機啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
• 50W/24V 直流電機
• 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

參數(shù)

•  電機功率：50W/24V
•  速度范圍：500-10000rpm
•  程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段
•  增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
•  時間范圍：0-60s
•  吸盤：Φ19mm、Φ60mm

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉涂覆

    上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數(shù)字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。

產(chǎn)品規(guī)格

• 尺寸：450mm×280mm×340mm；
• 重量：20kg

標準配件

1

　真空吸盤（含O型圈）

2個

2

　中心定位器（含4個定位柱）

1個

3

　滴膠注射器（20ml）

1個

4

　注射器支架

1個

5

　無油真空泵

1臺

6

　橡膠管（含卡箍）

1根

可選配件

　過濾器（真空泵用）