硅晶圓片(通用耗材)
隨著半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的發(fā)展,硅晶圓片(通用耗材)的用途越來越廣泛。比如半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域、X射線晶體分析、磁控濺射樣品生長、原子力、紅外光譜測試分析、PVD/CVD鍍膜襯底等。我們提供各種不同直徑、厚度、電阻、級別和應(yīng)用場景的硅片,請將您的參數(shù)要求發(fā)給我們,如有疑難,也請。
哪里可以快速買到硅片作為基片,當(dāng)然是這里!我們主要為國內(nèi)的科研院所、高校提供高品質(zhì)的硅片襯底,高純拋光的硅基底也能夠提供。
選型指導(dǎo):
特性 | 產(chǎn)品描述 |
常規(guī)硅片直徑 | 1"、2"、3"、4"、5"、6"、8"、10"、12" |
厚度 | 50um至10000um |
超薄硅片直徑 | 5mm、10mm、25mm、50mm、75mm、100mm |
超薄硅片厚度 | 2um至50um,公差±0.5µm、±1.0µm、±1.5µm |
表面粗糙度 | Prime Grade wafer Ra<5Å . |
摻雜類型 | P型、N型、無摻雜 |
晶向 | <100>± 0.5°;<110>±0.5°;<111>± 0.5°,<100>± 1°,<110>±1° |
表面處理 | 拋光、刻蝕、ASCUT;單面/雙面處理 |
電阻率 | 0~至 20000 (Ω·cm) |
級別 | Mechanical Grade、Test Grade、Prime Grade、SEMI Prime Grade |
產(chǎn)品舉例:
產(chǎn)品描述 | 尺寸舉例 | 規(guī)格 |
多孔硅晶圓,Porous silicon wafer | 76.2mm | 10片 |
無摻雜硅晶圓,undoped silicon wafer | 100mm | 10片 |
氮化硅膜硅晶圓,Silicon Nitride Wafer LPCVD PECVD | 100mm | 10片 |
FZ區(qū)硅晶圓片,F(xiàn)loat Zone Silicon Wafer | 25.4mm | 10片 |
熱氧化處理硅晶圓片Thermal Oxide Wafer | 76.2mm | 25片 |
超平硅片Ultra-Flat or MEMS wafers | 6″ | 5片 |
太陽能硅晶片,Solar Silicon Cells | 6″,5″ | 25片 |
外延硅片,Epitaxial Silicon Wafer | 100mm | 10片 |
N型硅晶圓片,N-Type Silicon Substrates | 100mm | 100片 |
各種硅晶片 | | |
我們致力于為客戶提供全面的硅片(Silicon Wafer)解決方案,從測試級硅片(Test Wafer)到產(chǎn)品級硅片(Prime Wafer),以及特殊硅片氧化硅片(Oxide)、氮化硅片(Si3N4)、鍍鋁硅片、鍍銅硅片、SOI Wafer、MEMS Glass、定制超厚、超平硅片等,尺寸覆蓋50mm-300mm。
對于2D材料的研究,軟光刻硅片,直接放射性核電實(shí)驗(yàn),等離子體刻蝕硅片,以及微流控芯片平臺的建立,我們均有成功的經(jīng)驗(yàn)。
小常識:
將某一特定晶向的硅種子(種子,通常為一小的晶棒)棒插入熔融液態(tài)硅,并慢慢向上拉起晶棒,一根和種子相同晶向的晶柱就被生產(chǎn)出來。將晶柱切割成多個一定厚度的圓片片,通常稱呼的wafer就被制造出來了。初步切割出來的wafer表面,通常比較粗糙,無法用作晶圓生產(chǎn),因而通常都在后續(xù)工藝中進(jìn)行拋光,拋光片的名詞就由此而來。針對不同晶圓制造要求,通常需要向粗制晶圓內(nèi)摻雜一些雜質(zhì),如P、B等,以改變其電阻值,因而就有了低阻、高阻、重?fù)降让~。鍍膜片可以理解為外延片Epi,是針對特定要求的半導(dǎo)體裝置而制定的wafer,通常是在IC和特殊IC上使用,如絕緣體上Si(SOI)等。
用Czochralski(CZ)晶體生長法或浮區(qū)(floatzone)(FZ)生長法生成單晶硅。超大規(guī)模集成電路應(yīng)用更多采用Czochmlski硅,因?yàn)樗?/span>FZ材料有更多的耐熱應(yīng)力能力,而且它能提供一種內(nèi)部吸雜的機(jī)械裝置,該裝置能從硅片表面上的器件結(jié)構(gòu)中去除不需要的雜質(zhì)。因?yàn)槭窃诓慌c任何容器或坩堝接觸的情況下制成,所以FZ硅比CZ硅有更高的純度(從而有更高的電阻率)。器件和電路所需的高純起始材料(如高壓,高功率器件)一般都用FZ硅。
我們的低應(yīng)力PECVD氮化是一個單面膜,已優(yōu)化為晶圓需要小的熱處理。因?yàn)榈蛻?yīng)力PECVD氮化物是在低溫下沉積的,它提供了更大的靈活性,可以沉積在任何其他薄膜上。
我們提供獨(dú)立式超薄超平硅片,厚度從5µm到100µm不等,直徑從5毫米到6英寸。薄硅片是真正的鏡面光潔度DSP,良好的表面平整度,無霧,無空洞,表面RMS低(典型1-2 nm),超低值TTV通常小于+/-1µm。
我們的單晶太陽能硅片的效率高達(dá)19.5%。什么是太陽能效率,陽光光子擊中太陽能晶片在一個特定的空間的百分比。更高的效率意味著發(fā)電所需的比表面積更小。因此,小型屋頂將希望使用更高的效率面板,以彌補(bǔ)較小的表面積。